Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi

Yıl 2017, Cilt: 5 Sayı: 1, 84 - 95, 30.01.2017

Tamer Şimşek Kadir Gökşen

Öz

Bu
çalışmada, metan (CH₄) plazma gazı akış hızı değiştirilerek
üretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bant
aralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir. Değerlendirmeler
sonucunda, CH₄ akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan bir
etkisi olmadığı tespit edilmiştir. Bunun yanı sıra, CH₄ gazının akış
hızının optik bant aralığı değerlerine bağlılığının doğrusal olmadığı açığa
çıkarılmıştır. Bu bağlılık matematiksel olarak modellenerek, elde edilen model
iletişim teknolojisinde sıklıkla kullanılan dalgaboyu değerlerinde verimli
çalışma olasılığı yüksek olan ince filmlerin üretiminde kullanılabilecek
parametrelerin tespitinde kullanılmıştır.

Anahtar Kelimeler

Amorf ince filmler , Optik bant aralığı , Geçirgenlik spektrokopisi

Kaynakça

• [1] X. Gillon, L. Houssiau, Plasma Sources Sci. Technol., 23 (2014) 045010.
• [2] M. V. Jacob, C. D. Easton, G. S. Woods and C. C. Berndt, Thin Solid Films 516(12) (2008) 3884.
• [3] F. F. Shi, Surf. Coatings Technol., 82(1-2) (1996) 1-15.
• [4] D. C. Green, D. McKenzie, P. Lukins, Mater. Sci. Forum, 52 (1990) 103.
• [5] J. Robertson, Surf. Coat. Technol., 50(3) (1992) 185.
• [6] J. Robertson, Mater. Sci. Eng. R Reports, 37(4) (2002) 129.
• [7] MW. Geis, MA. Tamor, Encyclopedia of Applied Physics. VCH, New York, (1993) 1-24.
• [8] H. T. Kim, S. H. Sohn, Vacuum, 86(12) (2012) 2148.
• [9] H. Tsai, Materials Science Forum, 52 (1990) 71.
• [10] C. Temirci, M. Gülcan, K. Gökşen, M. Sönmez, Microelectron. Eng., 87(11) (2010) 2282.
• [11] K. Gökşen, N. M. Gasanly, Journal of Physics and Chemistry of Solids, 69(10) (2008) 2385.
• [12] H. Kızılçaoğlu, K. Gökşen, Y. Köysal, Düzce Üni versitesi Bilim ve Teknoloji Dergisi, 4(1) (2016) 317.