@article{article_541448, title={TVA ile üretilen Cam / GaN / InGaN Filmin Artan Tavlama Sıcaklığının Bazı Fiziksel Özelliklerine Etkileri}, journal={Erzincan University Journal of Science and Technology}, volume={13}, pages={1–10}, year={2020}, DOI={10.18185/erzifbed.541448}, author={Erdoğan, Erman}, keywords={GaN/InGaN,Transmittance,Band gap,Atomic Force Microscope (AFM),Thermionic vacuum arc (TVA),Annealing}, abstract={<p class="BEU-FBE-zetMetni" style="line-height:115%;"> <span lang="en-us" xml:lang="en-us">Bu çalışmada, GaN / InGaN yarı iletken filmler,
termiyonik vakum ark (TVA) yöntemi kullanılarak cam alttaş üzerine büyütüldü.
Üretilen filmlerin bazı fiziksel özelliklerini iyileştirmek için, farklı
sıcaklıklarda termal tavlama yapıldı ve tavlama sıcaklığının, filmlerin optik
ve yüzey özellikleri üzerindeki etkisi araştırıldı. UV-VIS spektrofotometresi
kullanılarak geçirgenlik ve soğurma spektrumları alınmış ve optik enerji bant
aralıkları belirlenmiştir. Filmlerin yüzey görüntüleri ve yüzey pürüzlülük değerleri,
atomik kuvvet mikroskopisi (AFM) kullanılarak elde edildi. Elde edilen
sonuçlara göre, GaN / InGaN filmlerin bazı fiziksel özellikleri termal tavlama
ile iyileştirilmiş ve bu filmler çeşitli teknolojik alanlarda kullanım için
araştırılmıştır. </span> </p> <p> </p> <p> </p>}, number={1}, publisher={Erzincan Binali Yildirim University}