Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi

Year 2014, Volume: 17 Issue: 4, 161 - 165, 01.12.2014

Hilal Yücel Kurt Gülcan Kalkan Metin Özer Evrim Tanrıverdi Duygu Yiğit

Abstract

GaAs yarıiletken katotlu çift gaz boşalma aralıklı plazma hücresinde sistem karakteristiklerinin oksitlenme nedeniyle kararsızlık sergilediği deneysel olarak elde edilmiştir. Sistem karakteristikleri geniş bir gaz basıncı (p = 28 – 342 Torr), elektrotlar arası mesafe (d1 = 50 µm d2 = 50 – 320 µm) ve D = 9 mm lik yarıiletken katot çapı için deneysel olarak araştırıldı. U = 200-2000 Volt besleme gerilimi altında, Paschen eğrisinden kritik voltaj değerleri belirlendi.

Keywords

Gaz boşalması, GaAs, plazma, oksitlenme, çift aralık

The Effect of The Oxidation on GaAs Semiconductor Surface to the System Characteristics in A DoubleGapped Plasma Cell

Abstract

The system characteristic in a double gap gas discharge plasma cell with GaAs cathode has been identified to be unstable due to the oxidation, experimentally. The experimental studies include the system characteristics in a wide range of pressures (p = 28 – 342 Torr), interelectrode distances (d1 = 50 µm d2 = 50 – 320 µm) and semiconductor cathode diameter D (9 mm). Under the applied voltage U=200-2000, the critical voltage values from the Paschen curves are determined

Keywords

Gas discharge, GaAs, plasma, oxidation, double gap