BibTex RIS Cite

ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri

Year 2012, Volume: 16 Issue: 1, 56 - 60, 14.07.2014

Olcay Gençyılmaz Ferhunde Atay İdris Akyüz

Abstract

Bu çalışmada, ZnO yarıiletken filmleri ultrasonik kimyasal püskürtme tekniği (UKP) kullanılarak cam tabanlar üzerine depolanmıştır. Üretilen filmlerin bazı fiziksel özelliklerini iyileştirmek için farklı sıcaklıklarda ısıl tavlama işlemi yapılmış ve filmlerin optik, elektrik ve yüzey özellikleri üzerine tavlama sıcaklığının etkisi araştırılmıştır. ZnO filmlerinin elemental analizleri yapılarak filmlerin stokiyometrisi belirlenmiştir. Geçirgenlik ve soğurma spektrumları UV-VIS spektrofotometre kullanılarak alınmıştır ve yasak enerji aralıkları optik metot ile belirlenmiştir. Ayrıca filmlerin kalınlıkları, kırılma indisi (n) ve sönüm katsayısı (k) değerleri spektroskopik elipsometre (SE) cihazı kullanılarak belirlenmiştir. Filmlerin yüzey görüntüleri ve yüzey pürüzlülük değerleri atomik kuvvet mikroskobu (AKM) kullanılarak incelenmiş ve elektriksel özdirençleri dört uç metodu ile belirlenmiştir. Elde edilen sonuçlara göre, ZnO filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin ısıl tavlama işlemi ile iyileştiği belirlenmiş ve ZnO filmlerinin çeşitli teknolojik alanlarda kullanım potansiyeli araştırılmıştır.

Keywords

Ultrasonik kimyasal püskürtme ZnO Spektroskopik elipsometre Atomik kuvvet mikroskobu

References

  • Ergin, B., Ketenci, E., Atay, F. 2008. Characterization of ZnO films obtained by ultrasonic spray pyrolysis technique. International journal of hydrogen energy, 34, 5249–5254.
  • Golshahi, S., Rozati, S. M., Martins, R., Fortunato, E. 2009. P-type thin film deposited by spray pyrolysis technique. The effect of solution concentration. Thin Solid Films, 518,1149-1152.
  • Kaushal, A., Pathak, D., Bedi, R. K., Kaur, D. 2009. Structural, electrical and optical properties of transparent Zn1-xMgxO nanocomposite thin films. Thin Solid Films, 518, 1394-1398.
  • Kavasoğlu, N., Kavasoğlu, A. S. 2008. Metalsemiconductor transition in undoped ZnO films deposited by spray pyrolysis. Physica B, 403, 2807-2810.
  • Kruns, M., Mellikov E. 1995. Zinc oxide thin films by the spray pyrolysis method. Thin Solid Films, 270, 3336.
  • Lee, J.H., Park, B. K. 2004. Characteristics of Al-doped ZnO thin films obtained by ultrasonic spray pyrolysis: effects of Al doping and an annealing treatment. Materials Science and Engineering, 106, 242–245.
  • Ma, T. Y., Shim D. K. 2002. Effects of rapid thermal annealing on the morphology and electrical properties of ZnO/In films. Thin Solid Films, 410, 8–13.
  • Pankove, J. I. 1975. Optical processes in semiconductors, Dover Publications, New York, A.B.D.
  • Zhang, X., Fan, H., Sun, J., Zhao, Y. 2007. Structural and electrical properties of p-type ZnO films prepared by Ultrasonic Spray pyrolysis. Thin Solid Films, 515, 8789-8792.
  • Zhao, J. L., Li, X.M., Bian, J. M., Yu, W. D., Zhang, C. Y. 2005. Growth of nitrogen-doped p-type ZnO films by spray pyrolysis and their electrical and optical properties. Journal of crystal Growth, 280, 495-501.

Year 2012, Volume: 16 Issue: 1, 56 - 60, 14.07.2014

Olcay Gençyılmaz Ferhunde Atay İdris Akyüz

Abstract

References

  • Ergin, B., Ketenci, E., Atay, F. 2008. Characterization of ZnO films obtained by ultrasonic spray pyrolysis technique. International journal of hydrogen energy, 34, 5249–5254.
  • Golshahi, S., Rozati, S. M., Martins, R., Fortunato, E. 2009. P-type thin film deposited by spray pyrolysis technique. The effect of solution concentration. Thin Solid Films, 518,1149-1152.
  • Kaushal, A., Pathak, D., Bedi, R. K., Kaur, D. 2009. Structural, electrical and optical properties of transparent Zn1-xMgxO nanocomposite thin films. Thin Solid Films, 518, 1394-1398.
  • Kavasoğlu, N., Kavasoğlu, A. S. 2008. Metalsemiconductor transition in undoped ZnO films deposited by spray pyrolysis. Physica B, 403, 2807-2810.
  • Kruns, M., Mellikov E. 1995. Zinc oxide thin films by the spray pyrolysis method. Thin Solid Films, 270, 3336.
  • Lee, J.H., Park, B. K. 2004. Characteristics of Al-doped ZnO thin films obtained by ultrasonic spray pyrolysis: effects of Al doping and an annealing treatment. Materials Science and Engineering, 106, 242–245.
  • Ma, T. Y., Shim D. K. 2002. Effects of rapid thermal annealing on the morphology and electrical properties of ZnO/In films. Thin Solid Films, 410, 8–13.
  • Pankove, J. I. 1975. Optical processes in semiconductors, Dover Publications, New York, A.B.D.
  • Zhang, X., Fan, H., Sun, J., Zhao, Y. 2007. Structural and electrical properties of p-type ZnO films prepared by Ultrasonic Spray pyrolysis. Thin Solid Films, 515, 8789-8792.
  • Zhao, J. L., Li, X.M., Bian, J. M., Yu, W. D., Zhang, C. Y. 2005. Growth of nitrogen-doped p-type ZnO films by spray pyrolysis and their electrical and optical properties. Journal of crystal Growth, 280, 495-501.
There are 10 citations in total.

Details

Primary Language English
Journal Section MÜHENDİSLİK ve MİMARLIK BİLİMLERİ
Authors

Olcay Gençyılmaz This is me

Ferhunde Atay This is me

İdris Akyüz This is me

Publication Date July 14, 2014
Published in Issue Year 2012 Volume: 16 Issue: 1

Cite

APA Gençyılmaz, O., Atay, F., & Akyüz, İ. (2014). ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri. Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi, 16(1), 56-60. https://doi.org/10.19113/sdufbed.76992
AMA Gençyılmaz O, Atay F, Akyüz İ. ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri. J. Nat. Appl. Sci. March 2014;16(1):56-60. doi:10.19113/sdufbed.76992
Chicago Gençyılmaz, Olcay, Ferhunde Atay, and İdris Akyüz. “ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik Ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri”. Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi 16, no. 1 (March 2014): 56-60. https://doi.org/10.19113/sdufbed.76992.
EndNote Gençyılmaz O, Atay F, Akyüz İ (March 1, 2014) ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri. Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi 16 1 56–60.
IEEE O. Gençyılmaz, F. Atay, and İ. Akyüz, “ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri”, J. Nat. Appl. Sci., vol. 16, no. 1, pp. 56–60, 2014, doi: 10.19113/sdufbed.76992.
ISNAD Gençyılmaz, Olcay et al. “ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik Ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri”. Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi 16/1 (March 2014), 56-60. https://doi.org/10.19113/sdufbed.76992.
JAMA Gençyılmaz O, Atay F, Akyüz İ. ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri. J. Nat. Appl. Sci. 2014;16:56–60.
MLA Gençyılmaz, Olcay et al. “ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik Ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri”. Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi, vol. 16, no. 1, 2014, pp. 56-60, doi:10.19113/sdufbed.76992.
Vancouver Gençyılmaz O, Atay F, Akyüz İ. ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri. J. Nat. Appl. Sci. 2014;16(1):56-60.

e-ISSN :1308-6529
Linking ISSN (ISSN-L): 1300-7688

All published articles in the journal can be accessed free of charge and are open access under the Creative Commons CC BY-NC (Attribution-NonCommercial) license. All authors and other journal users are deemed to have accepted this situation. Click here to access detailed information about the CC BY-NC license.