@article{article_1592259, title={AlxGa1-xAs/GaAs Tabakalı Yarıiletken Yapıların Büyütülmesi ve Büyütülen Yapıların Yüksek Çözünürlüklü X-ışını Kırınımı (HR-XRD) Sistemi Kullanılarak Yapısal Analizleri}, journal={Cihannüma Teknoloji Fen ve Mühendislik Bilimleri Akademi Dergisi}, volume={3}, pages={10–20}, year={2025}, author={Korcak, Sabit and Özçelik, Süleyman}, keywords={Moleküler Demet Epitaksi, Yarıiletken Büyütme, AlGaAs/GaAs, GaAs, X-Işını Kırınımı, Kristal Kusurlar}, abstract={Bu çalışmada elektronik ve optoeletronik cihazların üretilmesinde kullanılan AlxGa1-xAs/GaAs tek kuantum kuyulu (QW) süper örgüsü ve AlxGa1-xAs/GaAs çoklu kuantum kuyuları (MQWs) kristal yapılarının büyütülmesine karar verildi. Büyütme başlamadan Moleküler Demet Epitaksi (MBE) deki yükleme, hazırlık ve büyütme odaları vakuma alındı. Büyütme işlemi başlamadan önce AlxGa1-xAs/GaAs tek kuantum kuyulu (QW) süper örgüsü ve AlxGa1-xAs/GaAs çoklu kuantum kuyuları (MQWs) kristal yapılarının büyütülmesinde sırasıyla 625µm kalınlığında p-tipi GaAs ve 625µm kalınlığında p-tipi GaAs (Zn) alttaş kullanıldı. Altaş üzerindeki herhangi bir kristak kusurlar veya safsızlıklar üzerine büyütülecek epitaksiyel tabakaların kalitesini ciddi olarak etkileyeceğinden, alttaş üzerindeki oksit tabakası arsenik basıncı altında büyüme öncesi büyüme odasında ısıl yöntemle kaldırıldı. Moleküler Demet Epitaksi V80H MBE sistemi ile AlxGa1-xAs/GaAs tek kuantum kuyulu (QW) süper örgüsü ve AlxGa1-xAs/GaAs çoklu kuantum kuyuları (MQWs) büyütüldü. Büyütülen AlxGa1-xAs/GaAs yarıiletkenlerinin kristal yapı analizleri incelendi. Yapıların kristal yapı analizleri Yüksek Çözünürlüklü X-ışını Kırınımı (HR-XRD) sistemi kullanılarak yapılarının özellikleri X-ışını kırınımı tekniği ile incelendi ve LEPTOS simülasyon programı ile analiz edildi. Bizim analizler için kullandığımız X–Işınları Cihazı (Bruker – AXS D8 Discover) Kurulumu: 4- kristalli Ge0022 simetrik monochromator (Si 002 için azami FWHM genişliği 0.00350), KFLCu2K X-ışını kaynağı, NaI dedektör, 1mm dedektör slit olarak sıralanabilir.}, number={1}, publisher={Cihannüma Dayanışma ve İşbirliği Derneği}