TY - JOUR TT - Au/(PrBaCoO nanofiber)/n-Si Yapılarda Seri Direnç ve Arayüzey Durumlarının Frekans ve Gerilime Bağlı Dağılım Profillerinin Farklı Metotlarla Elde Edilmesi AU - Demirezen, Selçuk PY - 2017 DA - September JF - Gazi Üniversitesi Fen Bilimleri Dergisi Part C: Tasarım ve Teknoloji JO - GUJS Part C PB - Gazi Üniversitesi WT - DergiPark SN - 2147-9526 SP - 167 EP - 176 VL - 5 IS - 3 KW - Au/PrBaCoO-nanofiber/n-Si yapılar/kapasitörler KW - Admitans ölçümleri KW - Arayüzey durumları ve seri direnç KW - frekans ve voltaj bağımlılğı N2 - Bu çalışmada PrBaCoO-nanofiberarayüzey tabakalı metal-yarıiletken (Au/n-Si) yapılarda arayüzey durumlarınınyoğunluğunun (Nss) ve seri direncin (Rs) hem frekans hem de voltaja bağlıincelendi. Bu amaçla hem kapasitans-gerilim (C-V) hem de iletkenlik-gerilim (G/w-V) ölçümlerioda sıcaklığında, 1 kHz-1 MHz frekans ve (±3 V) gerilim aralığındagerçekleştirildi. Arayüzey durumlarının frekans ve gerilime bağlı dağılımlarıhem Hill Coleman hem de yüksek-düşük kapasitans (CHF-CLF) metotlarından, Rs iseNicollian-Brews metodundan elde edildi. Arayüzey durumlarının ve onların yaşamasüreleri (t) ise Nicollien and Goetzberger tarafından geliştirilenAdmittance/Kondüktans metodundan elde edilmiştir. Deneysel sonuçlar, empedansölçümlerinde Nss durumlarının özellikle tüketim ve terslenim bölgelerindeetkili iken Rs nin sadece yığılma bölgesinde ve yüksek frekanslarda etkinolduğunu göstermiştir. Ölçülen C-V ve G/w-V grafikleri üzerine Rsetkisini minimize etmek için, ölçülen kapasitans ve iletkenlik değerleri yüksekfrekanslar için düzeltilmiştir. Sonuç olarak, kapasitörlerde arayüzey tabakaolarak, geleneksel düşük dielektrikli SiO2 yerine PrBaCoO gibiyüksek dielektrkli malzemelerin kulanılması halinde, kapasitörde çok daha fazlamiktarda yük ve dolayısıyla enerji depolanabileceğini göstermiştir. CR - [1] S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices, Wiley and Sons, New York, 1981. CR - [2] E.H. Nicollian, J.R. Brews, Metal Oxide Semiconductor (MOS) Physics and Technology Wiley, New York 1982. CR - [3] E. H. Nicollian, A. Goetzberger, Bell Syst. Tech. J., 46 (1967) 1055-1133. CR - [4] Y. Şafak Asar, T. Asar, Ş. Altındal, S. Özçelik, Journal of Alloys And Compounds, 628 (2015) 442. CR - [5] M. Jayalakshmi, K. Balasubramanian, Int. J. Electrochem. Sci, 3 (2008) 1196-1217. CR - [6] J. Ho, T. Richard Jow, S. Boggs, IEEE Electrical Insulation Magazine, 26 (2010) 20-25. CR - [7] S. A. Yerişkin, H. İ. Ünal, B. Sarı, Journal of Appliad Polymer Sceince 120 (2011) 390. CR - [8] E.H. Rhoderick, Metal-Semiconductor Contacts, Oxford University, 1978. CR - [9] S. Demirezen, Ş. Altındal, S. Özçelik, E. Özbay, Microelectronics Reliability 51 (2011) 2153. CR - [10] A. Kaya, H. Tecimer, Ö. Vural, I. H. Taşdemir, S. Altındal, IEEE Trans. on Elec. Dev. 61 (2014) 584 CR - [11] S. Demirezen, E. Özavcı, Ş. Altındal, Materials Science in Semiconductor Processing 23 (2014) 1–6. CR - [12] B. Şahin, H. Çetin, E. Ayyıldız, Solid State Communications 135 (2005) 490. CR - [13] I.M. Afandiyeva, I. Dökme, Ş. Altındal, L.K. Abdullayeva, Sh.G. Askerov, Microelectronic Engineering 85 (2008) 365. CR - [14] M.M. Bulbul, S. Zeyrek, Microelectronic Engineering 83 (2006) 2522. CR - [15] I.M. Afandiyeva, S. Demirezen, Ş. Altındal, Journal of Alloys and Compounds 552 (2013) 423. CR - [16] H.C. Card, E.H. Rhoderick, J Phys D Appl Phys, 4 (1971) 1589. CR - [17] E.H. Rhoderick, Metal-Semiconductor Contacts, Oxford University, 1978. CR - [18] P. Chattopadhyay, B. Raychaudhuri, Solid State Electron. 35 (1992) 1023. CR - [19]S. Demirezen, A. Kaya, Ö. Vural, Ş. Altındal, Materials Science in Semiconductor Processing, 33(2015)140–148. CR - [20] S. Altındal, H. Uslu, J. Appl. Phys. 109 (2011) 074503. CR - [21] Ö. Tüzün, Ş. Altındal, Ş. Öktik, Materials Science and Engineering B 134 (2006) 291. CR - [22] P. S. Ho, E. S. Yang, H. L. Evans, X. Wu, Phys. Rev. Lett. 56 (1986) 177. CR - [23] J. Werner. A. F. J. Levi, R.T. Tung, M. Anslowar, M. Pinto, Phys. Rev. Lett. 60 (1988) 53. CR - [24] W.A. Hill, C.C. Coleman, Solid State Electron. 23 (1980) 987. CR - [25] Ş. Altındal, H.Kanbur, İ. Yücedağ, A. Tataroğlu, Microelectron. Engin. 85 (2008) 1495- 1501. CR - [26] M. Depas,R. L. Van Meirhaeghe, W. H.Laflere, F. Cardon, Semicond. Sci. Technol. 7 (1992) 1476-1483. CR - [27] N. Konofaos, I. P. McClean, C. B. Thomas, Phys. Stat. Sol (a), 161 (1997) 111. CR - [28] A. Singh, Solid State Electronics, Vol 28 (1985) 223-232. UR - https://dergipark.org.tr/tr/pub/gujsc/issue//310410 L1 - https://dergipark.org.tr/tr/download/article-file/341513 ER -