TY  - JOUR
T1  - Elektron Işınlı Mikro Analiz Cihazı (Eıma)
TT  - ELECTRON PROBE MICRO ANALYSIS INSTRUMENT (EPMA)
AU  - Özbilen, Sedat
PY  - 2013
DA  - March
JF  - Gazi Üniversitesi Mühendislik Mimarlık Fakültesi Dergisi
JO  - GUMMFD
PB  - Gazi Üniversitesi
WT  - DergiPark
SN  - 1300-1884
SP  - 0
VL  - 9
IS  - 2
LA  - tr
AB  - Elektron Işınlı Mikro Analiz Cihazı çok basit şekilde malzeme yüzeyindekielementlerin tanınmasında, bunların mikroskobik mertebede tahribatsız olarakmiktar ve dağılım hesaplarının yapılmasında kullanılan analitik bir cihaz olarak tarifedilebilir. Başta metalurjik ve minerolojik numuneler olmak üzere jeolojik,petrolojik, biyolojik, arkeolojik, elektronik ve tıbbi numunelerin kimyasal analizindekullanılır. Yazının amacı EIMA cihazını tanıtmaktır. Bu nedenle cihazın kendisi,performansı ve uygulamaları ile birlikte, elde edilen verilerin toplanması ve bunlarınbilgisayar programları ile düzeltilmesi hakkında detaylı bir şekilde bilgi verilecektir.
KW  - Mikro analiz
KW  - elektron ışını
KW  - EPMA
KW  - metalografi
N2  - Electron Probe Micro Analysis Instrument can simply be described as an analyticaltool which is capable of identifying microscopically and nondestructively theamount and distribution of individual elements present within the surface layers of asample. Although it is mainly used for the chemical analysis of metallurgical andmineralogical specimens, it can also be used for the analysis of geological,petrological, biological, archeological, electrical and medical specimens. The mainpurpose of the paper is to introduce the EPMA. For that reason, in addition to theinformation about the instrument itself, its performance and applications,information about yielded data collection and correction by the help of computerprograms will be given in considerable detail.
UR  - https://dergipark.org.tr/tr/pub/gazimmfd/issue//89271
L1  - https://dergipark.org.tr/tr/download/article-file/76394
ER  -