Bu çalışmada, 50 ve 150 nm kalınlıklarına sahip
(Zn-katkılı PVA) polimer ara yüzey tabakalı Al/p-Si (MPS) yapıların elektriksel
özellikleri, kapasitans-kondüktans-voltaj (C-G/w-V) ölçüm
metodu kullanılarak frekansa bağlı incelendi. C-G/w-V ölçümleri -3.5/+5.5 V aralığında 50 mV adımlarla 2kHz, 20kHz ve 200kHz
frekanslarında oda sıcaklığında alındı. Ters öngerilim C-2-V grafiklerinin
lineer kısmının kesim noktası ve eğimlerinden faydalanılarak; difüzyon
potansiyeli (VD,)
alıcı katkı atomlarının yoğunluğu (NA), Fermi enerji (EF)
seviyesi, tüketim tabakasının kalınlığı (WD) ve potansiyel engel
yüksekliği (FB) gibi temel elektriksel
parametreler hem frekansa hem de kalınlığa bağlı olarak elde edilerek
karşılaştırıldı. Bu parametrelerin tümü oldukça hem organik arayüzey
tabakasının kalınlığına hem de frekansa bağlı değişiklik göstermektedir. Ayrıca
Nicollian ve Brews metodu kullanılarak bu yapıların direnci (Ri) ve
düşük-yüksek frekans (CLF-CHF) kapasitans metodu
kullanılarak da arayüzey durumlarının (Nss) voltaja bağlı değişim profilleri
elde edildi. Seri direnç (Rs) etkisinin hangi bölge ve frekansta
daha etkin olduğunu belirlemek için yapıların ölçülen C-G/w-V eğrileri Rs değeri dikkate
alınarak düzeltildi. Elde edilen deneysel sonuçlar hem polimer arayüzey tabaka
kalınlığının hem de Rs ve Nss değerlerinin C-G/w-V
ölçümleri üzerinde oldukça etkili olduğu gözlendi.
Polimer arayüzey tabaka ve Rs’ nin etkileri Düşük-yüksek frekans kapasitans metodu Arayüzey durumlarının dağılım profili
Birincil Dil | Türkçe |
---|---|
Konular | Metroloji,Uygulamalı ve Endüstriyel Fizik |
Bölüm | Tasarım ve Teknoloji |
Yazarlar | |
Yayımlanma Tarihi | 30 Eylül 2018 |
Gönderilme Tarihi | 12 Mart 2018 |
Yayımlandığı Sayı | Yıl 2018 Cilt: 6 Sayı: 3 |