Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri

Yıl 2005, Cilt: 7 Sayı: 1, 1 - 10, 01.05.2005

Melik Dölen Halit Kaplan

Öz

Bu
makale, mikro-elektro-mekanik sistemlerin tasarımda (büyük ölçekli sistemlerden
farklı olarak) öne çıkan önemli ilkeler üzerinde durulmaktadır. Buna göre,
mikro sistemlerin makro sistemlere göre bazı avantajlarından kısaca
bahsedilerek, mikro sistemlerin tasarını sırasında göz önünde bulundurulması
gereken faktörlere değinilecektir. Ayrıca, mikro ve makro sistemlerde öne çıkan
farklı fiziksel büyüklükler ve tasarımcının takip edeceği tasarım akış yolu ve
tasarım için kullanılabilecek bazı sayısal araçlara da bu makalede yer
verilmektedir.

Anahtar Kelimeler

mikro-elektro-mekanik sistemler

Kaynakça

• 1. Analog Devices, "ADXL150/ADXL250 rev.0" ürün kataloğu, Norwood, MA, 1996.
• 2. Lorenz, R. D., "Sensorless Control: High Bandwidth Tracking of Spatial Saliencies using Persistent Excitation," WEMPEC/CAST Seminer Notlari, University of Wisconsin — Madison, 1999.
• 3. Feynman, R. P.. "There's Plenty of Room at the Bottom," (tekrar basım) Journal of Microelectromechanical Systems, cilt 1:1, 60-66. Mart 1992
• 4. Howe, R. • T., "Surface Micromachining for Microsensors and Microactuators." Joumal of Vac. Sci. Technology, cilt 6, 1809-1813, Aralık 1988.
• 5. Menz, W.. Baclıer, W., Harmening, M.. and Michel. A., "The LICA Technique - a Novel Concept for Microstructures and the Combination with Si-Technologies by Injection Molding," EEEE Proceedings. of Micro Elecıro Mechanical Systems, Nara, Japan. 69- 73, 1991.
• 6. Foong, C. S., Wood, K. L., and Busch-Vishniac. L, "Design Assessment of Micro-Electro-mechanical Systems with Applications to a Microbiology Cell Injector," Micromechanical Systeıns, ASME DSC, cilt 46, 49-63, 1993.
• 7. Fitzgerald, A. E., Kingsley, C.. Liman. S. D., Elecırical Machinery, 5/e, McGraw-Hill Inc., NY, 1990.
• 8. Trimmer, W. S. N., "Microrobots and Micromechanical Systems." Sensors and Actuators, cilt 19:3, 267 — 287. 1989.
• 9. Michalicek, M. A., "Introduction to Microelectromechanical Systems." online sunu :// mı(jutlo.ed , University of Co.orado. Boulder, Mayıs 2000.
• 10. McCanhy B. Adams, G. G., ve MeGruer N. E, "A Dynamic Model, Including Contact Bounce of an Electrostatically Actuated Microswitch," Jounial of MEMS, cilt 11:3, sf. 276-283, 2002.
• 11. Press, W. H., et al, Numerical Recipes in C, 2/e. Cambridge University Press, Cambridge, UK. 1992.
• 12. Choi, B. ve Lovell, E. G., "Improved Analysis of Microbeams under Mechanical and Electrostatic Loads," J. of Micromech. Microeng., cilt 7, sf. 24-29, 1997.
• 13. Kirkpatrick, S., et al, "Optimization by Simulaıed Annealing," Science, cilt 220, sf. 4598, 1983.
• 14. Kovacs, G. T. A., Micromachined Transducers Sourcebook, McGraw-Hill, New York, 1998.
• 15. Petersen, K. E., "Dynamic Micromechanics on Silicon: Techniques and Devices," IEEE Trans. on Ekcıron Devices, cilt ED-25:10, sf. 1241-1250, 1978.
• 16. ANSYS MEMS Eğitim Notlari, (CD), ANSYS. Inc., PA, 2001.