Research Article

Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi

Volume: 5 Number: 1 January 30, 2017
Tamer Şimşek , Kadir Gökşen
PDF Download
Duzce University Journal of Science and Technology Cover Duzce University Journal of Science and Technology
TR

Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi

Abstract

Bu çalışmada, metan (CH4) plazma gazı akış hızı değiştirilerek üretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bant aralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir. Değerlendirmeler sonucunda, CH4 akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan bir etkisi olmadığı tespit edilmiştir. Bunun yanı sıra, CH4 gazının akış hızının optik bant aralığı değerlerine bağlılığının doğrusal olmadığı açığa çıkarılmıştır. Bu bağlılık matematiksel olarak modellenerek, elde edilen model iletişim teknolojisinde sıklıkla kullanılan dalgaboyu değerlerinde verimli çalışma olasılığı yüksek olan ince filmlerin üretiminde kullanılabilecek parametrelerin tespitinde kullanılmıştır.

Keywords

Amorf ince filmler,Optik bant aralığı,Geçirgenlik spektrokopisi

References

  1. [1] X. Gillon, L. Houssiau, Plasma Sources Sci. Technol., 23 (2014) 045010.
  2. [2] M. V. Jacob, C. D. Easton, G. S. Woods and C. C. Berndt, Thin Solid Films 516(12) (2008) 3884.
  3. [3] F. F. Shi, Surf. Coatings Technol., 82(1-2) (1996) 1-15.
  4. [4] D. C. Green, D. McKenzie, P. Lukins, Mater. Sci. Forum, 52 (1990) 103.
  5. [5] J. Robertson, Surf. Coat. Technol., 50(3) (1992) 185.
  6. [6] J. Robertson, Mater. Sci. Eng. R Reports, 37(4) (2002) 129.
  7. [7] MW. Geis, MA. Tamor, Encyclopedia of Applied Physics. VCH, New York, (1993) 1-24.
  8. [8] H. T. Kim, S. H. Sohn, Vacuum, 86(12) (2012) 2148.
  9. [9] H. Tsai, Materials Science Forum, 52 (1990) 71.
  10. [10] C. Temirci, M. Gülcan, K. Gökşen, M. Sönmez, Microelectron. Eng., 87(11) (2010) 2282.

Details

Primary Language

English

Subjects

Engineering

Journal Section

Research Article

Authors

Tamer Şimşek This is me
DUZCE UNIV
Türkiye

Kadir Gökşen
DUZCE UNIV
Türkiye

Publication Date

January 30, 2017

Submission Date

February 1, 2017

Acceptance Date

-

Published in Issue

Year 2017 Volume: 5 Number: 1

IZ

https://izlik.org/JA78RP65LP

Cite

RIS / Bibtex
APA
Şimşek, T., & Gökşen, K. (2017). Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi. Duzce University Journal of Science and Technology, 5(1), 84-95. https://izlik.org/JA78RP65LP
AMA
1.Şimşek T, Gökşen K. Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi. DUBİTED. 2017;5(1):84-95. https://izlik.org/JA78RP65LP
Chicago
Şimşek, Tamer, and Kadir Gökşen. 2017. “Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi”. Duzce University Journal of Science and Technology 5 (1): 84-95. https://izlik.org/JA78RP65LP.
EndNote
Şimşek T, Gökşen K (January 1, 2017) Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi. Duzce University Journal of Science and Technology 5 1 84–95.
IEEE
[1]T. Şimşek and K. Gökşen, “Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi”, DUBİTED, vol. 5, no. 1, pp. 84–95, Jan. 2017, [Online]. Available: https://izlik.org/JA78RP65LP
ISNAD
Şimşek, Tamer - Gökşen, Kadir. “Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi”. Duzce University Journal of Science and Technology 5/1 (January 1, 2017): 84-95. https://izlik.org/JA78RP65LP.
JAMA
1.Şimşek T, Gökşen K. Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi. DUBİTED. 2017;5:84–95.
MLA
Şimşek, Tamer, and Kadir Gökşen. “Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi”. Duzce University Journal of Science and Technology, vol. 5, no. 1, Jan. 2017, pp. 84-95, https://izlik.org/JA78RP65LP.
Vancouver
1.Tamer Şimşek, Kadir Gökşen. Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi. DUBİTED [Internet]. 2017 Jan. 1;5(1):84-95. Available from: https://izlik.org/JA78RP65LP