Ultrasonik Sprey Piroliz ile Üretilen Flor Katkılı Kalay Oksit İnce Filmlerin Yapısal, Morfolojik, Optiksel ve Elektriksel Analizleri
Abstract
Bu çalışmada yüksek şeffaflığa sahip Flor katkılı Kalay Oksit ince filmleri ultrasonik sprey piroliz tekniği ile başarılı bir şekilde üretilmiştir. İnce filmlerin yapısal ve morfolojik karakterizasyonu için X-ışını kırınımı, taramalı elektron mikroskobu ve atomik kuvvet mikroskobu analizleri yapılmıştır. X-ışını kırınımı desenleri göstermiştir ki filmler polikristal haldedir ve (200) tercihli yönelimi boyunca büyümüşlerdir. 3,16 eV’luk bir band aralığı UV-Vis ölçümlerinden elde edilmiştir. İnce filmlerin öz direnci 1,35×10-3W-cm olarak bulunmuştur.
Keywords
Flor katkılı Kalay Oksit, Ultrasonik sprey piroliz, Fiziksel özellikler
References
- [1] O. Malik, F. J. De la Hidalga-Wade, and R. R. Amador, ‘Fluorine-doped Tin Oxide Films with A High Figure of Merit Fabricated by Spray Pyrolysis,’ Journal of Materials Research, vol. 30, no. 13, pp. 2040–2045, 2015.
- [2] T. Jäger, B. Bissig, M. Döbeli, A. N. Tiwari, and Y. E. Romanyuk, ‘Thin films of SnO2:F by Reactive Magnetron Sputtering with Rapid Thermal Post-Annealing,’ Thin Solid Films, vol. 553, pp. 21–25, 2014.
- [3] A. E. Rakhshani, Y. Makdisi, and H. A. Ramazaniyan, ‘Electronic and Optical Properties of Fluorine-Doped Tin Oxide Films,’ Journal of Applied Physics, vol. 83, no. 2, pp. 1049–1057, 1998.
- [4] K. Nomura, Y. Ujihira, S. S. Sharma, A. Fueda, and T. Murakami, ‘Gas Sensitivity of Metal Oxide Mixed Tin Oxide Films Prepared by Spray Pyrolysis,’ Journal of Materials Science , vol. 24, no. 3, pp. 2653–2658, 1989.
- [5] A. Abdelkrim, S. Rahmane, O. Abdelouahab, N. Abdelmalek, and G. Brahim, ‘Effect of Solution Concentration on The Structural, Optical and Electrical Properties of SnO2 Thin Films Prepared by Spray Pyrolysis,’ Optik (Stuttg), vol. 127, no. 5, pp. 2653–2658, 2016.
- [6] A. Andersson et al., ‘Fluorine Tin Oxide as an Alternative to Indium Tin Oxide in Polymer LEDs,’ Advanced Materials, vol. 10, no. 11, pp. 859–863, 1998.
- [7] T. Fukano and T. Motohiro, ‘Low-temperature Growth of Highly Crystallized Transparent Conductive Fluorine-Doped Tin Oxide Films by İntermittent Spray Pyrolysis Deposition,’ Solar Energy Materials and Solar Cells, 2004.
- [8] J. W. Bae, S. W. Lee, and G. Y. Yeom, ‘Doped-Fluorine on Electrical and Optical Properties of Tin Oxide Films Grown by Ozone-Assisted Thermal CVD,’ Journal of The Electrochemical Society, vol. 154, no. 1, p. D34, 2006.
- [9] Z. Banyamin, P. Kelly, G. West, and J. Boardman, ‘Electrical and Optical Properties of Fluorine Doped Tin Oxide Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering,’ Coatings, vol. 4, no. 4, pp. 732–746, 2014.
- [10] A. N. Banerjee, S. Kundoo, P. Saha, and K. K. Chattopadhyay, ‘Synthesis and Characterization of Nano-Crystalline Fluorine-Doped Tin Oxide Thin Films by Sol-Gel Method’, Journal of Sol-Gel Science and Technology, vol. 28, no. 1, pp. 105–110, 2003.