Crystal Structure of CuInSe2 Thin Film Semiconductors Prepared By Two-Stage Process Technique

Yıl 2000, Cilt: 1 Sayı: 16, 13 - 19, 01.06.2000

Ö.faruk Yüksel Haldun Karabıyık

Öz

In this study, crystal structures of the compound semiconductor thin films, CuInSe2, prepared by two-stage process technique are investigated. The Cu, In and Se amounts in three samples which are prepared as having different Cu/In ratios are determined by energy dispersive analysis (EDA) technique, and it is found by examining the x-ray diffraction (XRD) patterns that these samples have chalcopyrite crystal structure. Also, the lattice parameters of this structure are calculated and the obtained results are found in agreement with the those which is given for bulk samples.

Anahtar Kelimeler

Thin film, CuInSe2, Chalcopyrite

İki Aşamalı Süreç Tekniği ile Hazırlanan İnce Film CuInSe2 Yarıiletkenlerin Kristal Yapısı

Öz

Bu çalışmada, iki aşamalı süreç tekniği ile hazırlanmış olan ince film CuInSe2 bileşik yarıiletkenlerin kristal yapısı araştırılmıştır. Farklı Cu/In oranları içerecek şekilde hazırlanmış üç numunedeki Cu, In ve Se miktarları enerji dağılım analizi (EDA) yöntemi ile belirlenmiş ve bu numunelerin alınan X-ışın kırınım (XRD) desenlerinden kristal yapılarının kalkoprit olduğu saptanmıştır. Ayrıca, yapının örgü sabitleri hesaplanmış ve elde edilen sonuçların hacimli (bulk) yapıdaki numuneler ile iyi bir uyum gösterdiği bulunmuştur.

Anahtar Kelimeler

İnce film, CuInSe2, Kalkoprit