CO2 Gaz Sensörü Uygulamaları için CuO İnce Film Üretimi ve Karakterizasyonu
Abstract
Katma değeri yüksek, ileri teknoloji ve yüksek maliyet gerektiren malzemelere alternatif olarak ince film kaplama yöntemleri ile eşdeğer yüzey özelliklerine sahip ekonomik malzemeler üretilebilmektedir. İnce film biriktirme yapılarak farklı sensörler, fotovoltaik hücreler, elektronik uygulamalar ve filtreler gibi çeşitli teknolojik malzemelerin temelini oluşturan yarı iletken yüzeyler üretmek mümkündür. Çeşitli fosil yakıtlar ve atıkların yanması ile farklı gazlar açığa çıkmaktadır. Çevreye zarar vermekte ve sağlığa olumsuz etkileri olan bu gazların tespit edilmesi gerekmektedir. CuO yarıiletken ince filmler karbondioksit, etanol, amonyak gibi farklı gazların belirlenmesi ve gerekli uyarıların verilmesinde gaz sensörü olarak kullanımı amacı üzerine çalışmalar yapılmaktadır. Bu çalışma kapsamında cam yüzeyler üzerine CuO yarıiletken ince filmler biriktirilerek gaz sensörü olarak kullanımı test edilmiştir. CuO yarı iletken ince filmlerin CO2 gazının tespitinde alternatif bir gaz sensörü olarak kullanılabileceği tespit edilmiştir.
Keywords
CuO, İnce Film, Gaz Sensörü, Daldırarak Kaplama, Yarıiletken
References
- [1] S. Zhao, Y. Shen, X. Yan, P. Zhou, Y. Yin, R. Lu, C. Han, B. Cui, and D. Wei, “Complex-surfactant-assisted hydrothermal synthesis of one-dimensional ZnO nanorods for high-performance ethanol gas sensor,” Sensors Actuators B Chem., vol. 286, pp. 501–511, May 2019.
- [2] J. Liu, L. Zhang, J. Fan, B. Zhu, and J. Yu, “Triethylamine gas sensor based on Pt-functionalized hierarchical ZnO microspheres,” Sensors Actuators B Chem., vol. 331, p. 129425, Mar. 2021.
- [3] P. G. Choi, N. Izu, N. Shirahata, and Y. Masuda, “Improvement of sensing properties for SnO2 gas sensor by tuning of exposed crystal face,” Sensors Actuators B Chem., vol. 296, p. 126655, Oct. 2019.
- [4] Y. Kong, Y. Li, X. Cui, L. Su, D. Ma, T. Lai, L. Yao, X. Xiao, and Y. Wang, “SnO2 nanostructured materials used as gas sensors for the detection of hazardous and flammable gases: A review,” Nano Mater. Sci., vol. 4, no. 4, pp. 339–350, Dec. 2022.
- [5] U. T. Nakate, R. Ahmad, P. Patil, Y. T. Yu, and Y. B. Hahn, “Ultra thin NiO nanosheets for high performance hydrogen gas sensor device,” Appl. Surf. Sci., vol. 506, p. 144971, Mar. 2020.
- [6] P. Li, C. Cao, Q. Shen, B. Bai, H. Jin, J. Yu, W. Chen, and W. Song, “Cr-doped NiO nanoparticles as selective and stable gas sensor for ppb-level detection of benzyl mercaptan,” Sensors Actuators B Chem., vol. 339, p. 129886, Jul. 2021.
- [7] Y. Gui, K. Tian, J. Liu, L. Yang, H. Zhang, and Y. Wang, “Superior triethylamine detection at room temperature by (-112) faceted WO3 gas sensor,” J. Hazard. Mater., vol. 380, p. 120876, Dec. 2019.
- [8] Q. Hu, J. He, J. Chang, J. Gao, J. Huang, and L. Feng, “Needle-Shaped WO3 Nanorods for Triethylamine Gas Sensing,” ACS Appl. Nano Mater., vol. 3, no. 9, pp. 9046–9054, Sep. 2020.
- [9] U. T. Nakate, P. Patil, B. Ghule, Y. T. Nakate, S. Ekar, R. C. Ambare, and R. S. Mane, “Room temperature LPG sensing properties using spray pyrolysis deposited nano-crystalline CdO thin films,” Surfaces and Interfaces, vol. 17, p. 100339, Dec. 2019.
- [10] F. M. Othman, A. A. A. Hamead, and M. H. A. Wahid, “Fabrication and Characterization of CdO Gas Sensor with Tube Shape,” Mater. Sci. Forum, vol. 1021, pp. 317–326, 2021.