Fabrication and Investigation About Physical Properties of Fluorine Doped ZnO Thin Films
Abstract
In this work undoped, fluorine doped ZnO films were produced by chemical spray pyrolysis method, respectively. ZnO and Fluorine doped ZnO films were obtained onto glass substrates at 450 oC using ZnCl2precursor by spray pyrolysis method and the physical properties of those films were examined. The X-ray diffraction pattern show that the crystal structures of the films are hexagonal wurtzite structure. Energy gaps of the films were obtained by using optical measurements. Resistances of the films were determined by four point method. From SEM images it is observed that fluorine contribution changes the morphologies of the films.
Keywords
ZnO, Chemical spray pyrolysis, Fluorine
Flor Katkılı ZnO İnce Filmlerin Üretimi ve Fiziksel Özelliklerinin İncelenmesi
Abstract
Bu çalışmasında, kimyasal püskürtme yöntemi ile katkısız ve flor katkılı ZnO filmler üretildi. Kimyasal Püskürtme Yöntemi ile 450 °C taban sıcaklığında cam altlıklar üzerine ZnO ve Flor katkılı ZnO ince filmleri ZnCl2 tuzu kullanılarak elde edilmiş ve elde edilen bu ince filmlerin fiziksel özellikleri incelenmiştir. Filmlerin X- ışını toz kırınım deseninden, ince filmlerin kristal yapısının hekzagonal würtzit yapıda olduğu belirlenmiştir. Optik yöntemlerle ince filmlerin yasak enerji aralıkları bulunmuştur. Filmlerin özdirençleri dört nokta yöntemi ile bulunmuştur. SEM görüntülerinden flor katkısının filmlerin morfolojik yapısını değiştirdiği görülmüştür.
Keywords
ZnO, Kimyasal Püskürtme Yöntemi, Flor