Au/C20H12/n-Si (MPS) Yapının Elektriksel Özelliklerinin Frekansa Bağlı İncelenmesi
Abstract
Bu çalışmada, C20H12 (perilen) ince film tabaka spin kaplama metodu ile n-Si üzerine büyütüldü. Au/C20H12/n-Si (Metal-perilen-yarıiletken) yapının kapasitans-voltaj (C-V) ve iletkenlik-voltaj (G/-V) karakteristikleri, oda sıcaklığında, 200kHz-3MHz frekans ve ±6V voltaj aralığında incelendi. Potansiyel engel yüksekliği (B), seri direnç (Rs) ve arayüzey durumları (Nss) gibi temel elektriksel parametrelerin frekansa ve voltaja oldukça bağlı olduğu görüldü. C-V eğrilerinde yüksek frekanslarda negatif kapasitans davranışı gözlendi. Nicollian ve Brews metodu kullanılarak Au/C20H12/n -Si yapının seri direnci (Rs) ve Hill-Coleman metodu kullanılarak da arayüzey durumlarının (Nss) voltaja bağlı değişimi incelendi. Seri direnç değerleri her frekans değeri için bir pik vermekte ve artan frekans ile azalmaktadır. Arayüzey durumları da artan frekans değeri ile eksponansiyel olarak azalmaktadır. Elde edilen deneysel sonuçlar ile hem Rs hem de Nss değerlerinin C-V ve G/-V ölçümleri üzerinde oldukça etkili olduğu gözlendi.
Keywords
References
- Altindal Ş, Parlaktürk F, Tataroǧlu A, Parlak M, Sarmasov SN, Agasiev AA, 2008. The temperature profile and bias dependent series resistance of Au/Bi4Ti3O12/SiO2/n-Si (MFIS) structures. Vacuum, 82 (11): 1246-1250.
- Arslan E, Şafak Y, Altındal Ş, Kelekçi O, Özbay E, 2010. Temperature dependent negative capacitance behavior in (Ni/Au)/AlGaN/AlN/GaN heterostructures. Journal of Non-Crystalline Solids, 356 (20-22): 1006-1011.
- Asir S, Demir AS, Icil H, 2010. Efficient Synthesis of New Unsymmetrically Substituted Chiral Naphthalene and Perylene Diimides: Their Photophysical, Electrochemical, Chiroptical and Intramolecular Charge Transfer Properties. Dyes and Pigments, 84: 1-13.
- Bengi S, Bülbül MM, 2013. Electrical and dielectric properties of Al/HfO2/p-Si MOS device at high temperatures. Current Applied Physics, 13: 1819-1825.
- Bilkan Ç, Zeyrek S, San SE, Altındal Ş, 2015. A compare of electrical characteristics in Al/p-Si (MS) and Al/C20H12/p-Si (MPS) type diodes using current–voltage (I–V) and capacitance–voltage (C–V) measurements. Materials Sicence in Semiconductor Processing, 32:137-144.
- Bilkan Ç, Gümüş A, Altındal Ş, 2015. The source of negative capacitance and anomalous peak in the forward bias capacitance-voltage in Cr/p-si Schottky barrier diodes (SBDs). Materials Sicence in Semiconductor Processing, 39:484-491.
- Bülbül MM, Zeyrek S, Altındal Ş, Yüzer H, 2006. On the profile of temperature dependent series resistance in Al/Si3N4/p-Si (MIS) Schottky diodes. Microelectronic Engineering, 83 (3): 577-581.
- Chand S, Kumar J, 1995. Current-voltage characteristics and barrier parameters of Pd2Si/p-Si (111) Schottky diodes in a wide temperature range. Semiconductor Science and Technology, 10: 1680-1688.
Details
Primary Language
Turkish
Subjects
Metrology, Applied and Industrial Physics
Journal Section
Research Article
Authors
Seda Bengi
*
0000-0002-3348-0712
Türkiye
Publication Date
March 1, 2020
Submission Date
August 2, 2019
Acceptance Date
November 28, 2019
Published in Issue
Year 2020 Volume: 10 Number: 1