Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films with Ion-Assisted Deposition

O. Faruk Farsakoğlu

doi:10.17134/sbd.56370

EN TR

Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films with Ion-Assisted Deposition

Abstract

Bu çalışmada, iyon destekli kaplama tekniği ile soğuk-katot plazma kaynağı tarafından oluşturulan optik ince filmin özelliklerinin analizi yapılmıştır. Bu işlem optik ince filmin, optik ve fiziksel karakteristiklerini artırmak için gerçekleştirilmiştir. Sistemin sürücü voltajı, basıncı ve pompalama hızı ele alınmış, silikon tabakası ve mikroskop camı üzerinde kaplanan, TiO2 ve Ta2O5’in bazı karakteristikleri incelenmiştir. TiO2 ve Ta2O5için kırılma indisleri, kalınlık ve gerilimler hesaplanmış ve filmlerin nem kararlılığı incelenmiştir. Farklı pompalama hızı ve gaz akış hızlarında farklı filmlerin kırılma indislerinin değişimleri üzerinde çalışılmıştır

Keywords

Optik ince film, soğuk-katot iyon kaynağı, nem kararlı, nem kararsız

Details

Primary Language

Turkish

Subjects

-

Journal Section

-

Authors

O. Faruk Farsakoğlu This is me

Publication Date

June 1, 2007

Submission Date

July 27, 2014

Acceptance Date

-

Published in Issue

Year 2007 Volume: 6 Number: 2

DOI

https://doi.org/10.17134/sbd.56370

IZ

https://izlik.org/JA72AB29CK

Cite

RIS / Bibtex

APA

Farsakoğlu, O. F. (2007). Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films with Ion-Assisted Deposition. Savunma Bilimleri Dergisi, 6(2), 33-47. https://doi.org/10.17134/sbd.56370

AMA

1.Farsakoğlu OF. Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films with Ion-Assisted Deposition. Savunma Bilimleri Dergisi. 2007;6(2):33-47. doi:10.17134/sbd.56370

Chicago

Farsakoğlu, O. Faruk. 2007. “Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films With Ion-Assisted Deposition”. Savunma Bilimleri Dergisi 6 (2): 33-47. https://doi.org/10.17134/sbd.56370.

EndNote

Farsakoğlu OF (June 1, 2007) Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films with Ion-Assisted Deposition. Savunma Bilimleri Dergisi 6 2 33–47.

IEEE

[1]O. F. Farsakoğlu, “Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films with Ion-Assisted Deposition”, Savunma Bilimleri Dergisi, vol. 6, no. 2, pp. 33–47, June 2007, doi: 10.17134/sbd.56370.

ISNAD

Farsakoğlu, O. Faruk. “Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films With Ion-Assisted Deposition”. Savunma Bilimleri Dergisi 6/2 (June 1, 2007): 33-47. https://doi.org/10.17134/sbd.56370.

JAMA

1.Farsakoğlu OF. Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films with Ion-Assisted Deposition. Savunma Bilimleri Dergisi. 2007;6:33–47.

MLA

Farsakoğlu, O. Faruk. “Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films With Ion-Assisted Deposition”. Savunma Bilimleri Dergisi, vol. 6, no. 2, June 2007, pp. 33-47, doi:10.17134/sbd.56370.

Vancouver

1.O. Faruk Farsakoğlu. Improvements of Some Characteristics for Optical Thin Films with Ion-Assisted Deposition. Savunma Bilimleri Dergisi. 2007 Jun. 1;6(2):33-47. doi:10.17134/sbd.56370