Bor nitrür kaplamalar Silikon ve
çelik alt malzemeler üzerinde radyo frekanslı (rf) magnetron saçtırma
yöntemiyle hekzagonal bor nitrür hedef plaka kullanılarak büyütülmüştür.
Büyütme işlemi gaz oranı 5 e 1 olacak şekilde Argon ve Azot gaz karışımında ve
3x10-3 Torr basınç altında gerçekleştirilmiştir. Büyütme işleminde ana
parametreler olan alt malzeme (bias) voltajı ve ortam sıcaklığının etkileri
araştırılmıştır. Çalışmanın amacı bor nitrür kaplamaların alt malzeme
yüzeylerinde oluşturularak metal kesme işleminde kullanılabilmesi için gerekli
sertlik ve yapışkanlığı elde etmektir. Deneyler sonucu elde edilen kaplamaların
nitelendirilmesi için Fourier transform kızılötesi spektroskopisi (FTIR), X-Ray
fotoelektron spektroskopisi (XPS) ve Taramalı Elektron Mikroskobu (SERI)
teknikleri kullanılmıştır. Çelik örnekler üzerindeki kaplamaların mekanik
özellikleri ise kalınlık, sürtünme katsayısı, aşınma ve yapışkanlık ölçümleriyle
belirlenmiştir.
Primary Language | Turkish |
---|---|
Journal Section | Araştırma, Geliştirme ve Uygulama Makaleleri |
Authors | |
Publication Date | May 1, 2009 |
Submission Date | February 2, 2009 |
Published in Issue | Year 2009 Volume: 11 Issue: 1 |