Bu
makale, mikro-elektro-mekanik sistemlerin tasarımda (büyük ölçekli sistemlerden
farklı olarak) öne çıkan önemli ilkeler üzerinde durulmaktadır. Buna göre,
mikro sistemlerin makro sistemlere göre bazı avantajlarından kısaca
bahsedilerek, mikro sistemlerin tasarını sırasında göz önünde bulundurulması
gereken faktörlere değinilecektir. Ayrıca, mikro ve makro sistemlerde öne çıkan
farklı fiziksel büyüklükler ve tasarımcının takip edeceği tasarım akış yolu ve
tasarım için kullanılabilecek bazı sayısal araçlara da bu makalede yer
verilmektedir.
Primary Language | Turkish |
---|---|
Journal Section | Araştırma, Geliştirme ve Uygulama Makaleleri |
Authors | |
Publication Date | May 1, 2005 |
Submission Date | January 2, 2005 |
Published in Issue | Year 2005 Volume: 7 Issue: 1 |