Bu
makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem
teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon,
lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde
kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele
alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış
silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere
("micro-actuators") çeşitli örnekler verilecektir. Bu makalede ayrıca
mikro-mekanik sistemlerin (dizgelerin) tasarlanmasında kullanılan ölçeklendirme
kanunları ele alınacaktır.
Primary Language | Turkish |
---|---|
Journal Section | Genel Değerlendirme |
Authors | |
Publication Date | May 1, 2002 |
Submission Date | April 22, 2002 |
Published in Issue | Year 2002 Volume: 4 Issue: 3 |