Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri

Melik Dölen; Halit Kaplan

Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri

Öz

Bu makale, mikro-elektro-mekanik sistemlerin tasarımda (büyük ölçekli sistemlerden farklı olarak) öne çıkan önemli ilkeler üzerinde durulmaktadır. Buna göre, mikro sistemlerin makro sistemlere göre bazı avantajlarından kısaca bahsedilerek, mikro sistemlerin tasarını sırasında göz önünde bulundurulması gereken faktörlere değinilecektir. Ayrıca, mikro ve makro sistemlerde öne çıkan farklı fiziksel büyüklükler ve tasarımcının takip edeceği tasarım akış yolu ve tasarım için kullanılabilecek bazı sayısal araçlara da bu makalede yer verilmektedir.

Anahtar Kelimeler

mikro-elektro-mekanik sistemler

Kaynakça

1. Analog Devices, "ADXL150/ADXL250 rev.0" ürün kataloğu, Norwood, MA, 1996.
2. Lorenz, R. D., "Sensorless Control: High Bandwidth Tracking of Spatial Saliencies using Persistent Excitation," WEMPEC/CAST Seminer Notlari, University of Wisconsin — Madison, 1999.
3. Feynman, R. P.. "There's Plenty of Room at the Bottom," (tekrar basım) Journal of Microelectromechanical Systems, cilt 1:1, 60-66. Mart 1992
4. Howe, R. • T., "Surface Micromachining for Microsensors and Microactuators." Joumal of Vac. Sci. Technology, cilt 6, 1809-1813, Aralık 1988.
5. Menz, W.. Baclıer, W., Harmening, M.. and Michel. A., "The LICA Technique - a Novel Concept for Microstructures and the Combination with Si-Technologies by Injection Molding," EEEE Proceedings. of Micro Elecıro Mechanical Systems, Nara, Japan. 69- 73, 1991.
6. Foong, C. S., Wood, K. L., and Busch-Vishniac. L, "Design Assessment of Micro-Electro-mechanical Systems with Applications to a Microbiology Cell Injector," Micromechanical Systeıns, ASME DSC, cilt 46, 49-63, 1993.
7. Fitzgerald, A. E., Kingsley, C.. Liman. S. D., Elecırical Machinery, 5/e, McGraw-Hill Inc., NY, 1990.
8. Trimmer, W. S. N., "Microrobots and Micromechanical Systems." Sensors and Actuators, cilt 19:3, 267 — 287. 1989.

Ayrıntılar

Birincil Dil

Türkçe

Konular

-

Bölüm

Araştırma Makalesi

Yazarlar

Melik Dölen Bu kişi benim

Halit Kaplan Bu kişi benim

Yayımlanma Tarihi

1 Mayıs 2005

Gönderilme Tarihi

2 Ocak 2005

Kabul Tarihi

-

Yayımlandığı Sayı

Yıl 2005 Cilt: 7 Sayı: 1

IZ

https://izlik.org/JA86EG75AF

Kaynak Göster

RIS / Bibtex

APA

Dölen, M., & Kaplan, H. (2005). Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri. Makina Tasarım ve İmalat Dergisi, 7(1), 1-10. https://izlik.org/JA86EG75AF

AMA

1.Dölen M, Kaplan H. Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri. MATİM. 2005;7(1):1-10. https://izlik.org/JA86EG75AF

Chicago

Dölen, Melik, ve Halit Kaplan. 2005. “Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri”. Makina Tasarım ve İmalat Dergisi 7 (1): 1-10. https://izlik.org/JA86EG75AF.

EndNote

Dölen M, Kaplan H (01 Mayıs 2005) Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri. Makina Tasarım ve İmalat Dergisi 7 1 1–10.

IEEE

[1]M. Dölen ve H. Kaplan, “Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri”, MATİM, c. 7, sy 1, ss. 1–10, May. 2005, [çevrimiçi]. Erişim adresi: https://izlik.org/JA86EG75AF

ISNAD

Dölen, Melik - Kaplan, Halit. “Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri”. Makina Tasarım ve İmalat Dergisi 7/1 (01 Mayıs 2005): 1-10. https://izlik.org/JA86EG75AF.

JAMA

1.Dölen M, Kaplan H. Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri. MATİM. 2005;7:1–10.

MLA

Dölen, Melik, ve Halit Kaplan. “Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri”. Makina Tasarım ve İmalat Dergisi, c. 7, sy 1, Mayıs 2005, ss. 1-10, https://izlik.org/JA86EG75AF.

Vancouver

1.Melik Dölen, Halit Kaplan. Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri. MATİM [Internet]. 01 Mayıs 2005;7(1):1-10. Erişim adresi: https://izlik.org/JA86EG75AF