Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2

O. Faruk Farsakoğlu

EN TR

Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2

Abstract

Bu çalışmada, soğuk-katot plazma kaynağı tarafından üretilen iyon enerjisinin etkin parametreleri ele alınmıştır. Kaynağın iyon enerjisi O2incelenmektedir. Ölçümler iyon enerjisi dağılım fonksiyonlarını elde etmek için, bir iyon enerjisi analiz cihazı ile gerçekleştirilmiştir. Oksijenin ortalama iyon enerjisi; basıncın, sürücü geriliminin ve sürücü akımının fonksiyonu olarak hesaplanmıştır. İyon akım yoğunluğu üzerindeki bu parametrelerin etkileri bir devre kullanılarak yapılmıştır. Farklı pompalama hızları için akımla gerilim arasındaki değişmeler analiz edilmiştir

Keywords

Details

Primary Language

Turkish

Subjects

Engineering

Journal Section

Conference Paper

Authors

O. Faruk Farsakoğlu This is me

Publication Date

March 1, 2007

Submission Date

July 27, 2014

Acceptance Date

-

Published in Issue

Year 2007 Volume: 6 Number: 1

IZ

https://izlik.org/JA55TG87FX

Cite

RIS / Bibtex

APA

Farsakoğlu, O. F. (2007). Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2. Savunma Bilimleri Dergisi, 6(1), 20-35. https://izlik.org/JA55TG87FX

AMA

1.Farsakoğlu OF. Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2. Savunma Bilimleri Dergisi. 2007;6(1):20-35. https://izlik.org/JA55TG87FX

Chicago

Farsakoğlu, O. Faruk. 2007. “Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2”. Savunma Bilimleri Dergisi 6 (1): 20-35. https://izlik.org/JA55TG87FX.

EndNote

Farsakoğlu OF (March 1, 2007) Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2. Savunma Bilimleri Dergisi 6 1 20–35.

IEEE

[1]O. F. Farsakoğlu, “Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2”, Savunma Bilimleri Dergisi, vol. 6, no. 1, pp. 20–35, Mar. 2007, [Online]. Available: https://izlik.org/JA55TG87FX

ISNAD

Farsakoğlu, O. Faruk. “Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2”. Savunma Bilimleri Dergisi 6/1 (March 1, 2007): 20-35. https://izlik.org/JA55TG87FX.

JAMA

1.Farsakoğlu OF. Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2. Savunma Bilimleri Dergisi. 2007;6:20–35.

MLA

Farsakoğlu, O. Faruk. “Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2”. Savunma Bilimleri Dergisi, vol. 6, no. 1, Mar. 2007, pp. 20-35, https://izlik.org/JA55TG87FX.

Vancouver

1.O. Faruk Farsakoğlu. Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2. Savunma Bilimleri Dergisi [Internet]. 2007 Mar. 1;6(1):20-35. Available from: https://izlik.org/JA55TG87FX