Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2

O. Faruk Farsakoğlu

EN TR

Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2

Öz

Bu çalışmada, soğuk-katot plazma kaynağı tarafından üretilen iyon enerjisinin etkin parametreleri ele alınmıştır. Kaynağın iyon enerjisi O2incelenmektedir. Ölçümler iyon enerjisi dağılım fonksiyonlarını elde etmek için, bir iyon enerjisi analiz cihazı ile gerçekleştirilmiştir. Oksijenin ortalama iyon enerjisi; basıncın, sürücü geriliminin ve sürücü akımının fonksiyonu olarak hesaplanmıştır. İyon akım yoğunluğu üzerindeki bu parametrelerin etkileri bir devre kullanılarak yapılmıştır. Farklı pompalama hızları için akımla gerilim arasındaki değişmeler analiz edilmiştir

Anahtar Kelimeler

Ayrıntılar

Birincil Dil

Türkçe

Konular

Mühendislik

Bölüm

Konferans Bildirisi

Yazarlar

O. Faruk Farsakoğlu Bu kişi benim

Yayımlanma Tarihi

1 Mart 2007

Gönderilme Tarihi

27 Temmuz 2014

Kabul Tarihi

-

Yayımlandığı Sayı

Yıl 2007 Cilt: 6 Sayı: 1

IZ

https://izlik.org/JA55TG87FX

Kaynak Göster

RIS / Bibtex

APA

Farsakoğlu, O. F. (2007). Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2. Savunma Bilimleri Dergisi, 6(1), 20-35. https://izlik.org/JA55TG87FX

AMA

1.Farsakoğlu OF. Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2. Savunma Bilimleri Dergisi. 2007;6(1):20-35. https://izlik.org/JA55TG87FX

Chicago

Farsakoğlu, O. Faruk. 2007. “Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2”. Savunma Bilimleri Dergisi 6 (1): 20-35. https://izlik.org/JA55TG87FX.

EndNote

Farsakoğlu OF (01 Mart 2007) Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2. Savunma Bilimleri Dergisi 6 1 20–35.

IEEE

[1]O. F. Farsakoğlu, “Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2”, Savunma Bilimleri Dergisi, c. 6, sy 1, ss. 20–35, Mar. 2007, [çevrimiçi]. Erişim adresi: https://izlik.org/JA55TG87FX

ISNAD

Farsakoğlu, O. Faruk. “Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2”. Savunma Bilimleri Dergisi 6/1 (01 Mart 2007): 20-35. https://izlik.org/JA55TG87FX.

JAMA

1.Farsakoğlu OF. Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2. Savunma Bilimleri Dergisi. 2007;6:20–35.

MLA

Farsakoğlu, O. Faruk. “Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2”. Savunma Bilimleri Dergisi, c. 6, sy 1, Mart 2007, ss. 20-35, https://izlik.org/JA55TG87FX.

Vancouver

1.O. Faruk Farsakoğlu. Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2. Savunma Bilimleri Dergisi [Internet]. 01 Mart 2007;6(1):20-35. Erişim adresi: https://izlik.org/JA55TG87FX