Araştırma Makalesi
BibTex RIS Kaynak Göster

Uç ağırlıklı piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer olarak tasarımı ve sayısal analizi

Yıl 2023, Cilt: 39 Sayı: 3, 350 - 356, 31.12.2023

Öz

Bu araştırma, MEMS tabanlı ivmeölçerlerin tasarımı ve geliştirilmesi üzerine yoğunlaşmaktadır. Günümüzde birçok cihaz, hareket ve oryantasyon algılama yetenekleri sayesinde daha işlevsel hale gelmiştir ve bu yetenekler büyük ölçüde ivmeölçerler sayesinde sağlanmaktadır. Çoğu durumda, cihazların hareketleri belirgin eksenler boyunca gerçekleşir ve bu nedenle, bu özel eksenleri algılayabilen sensörlerin geliştirilmesi genellikle yeterlidir. Literatürde, çok eksenli hareketleri algılayabilen sensörlerin geliştirilmesi önemli bir araştırma alanı olarak kabul edilse de, pratikte, belirli eksenlere odaklanan ivmeölçerlerin tasarım ve üretimi daha hızlı ve maliyet etkin olabilmektedir. Bu çalışmada, hem dikey hem de dönme eksenlerindeki ivmeleri algılayabilen yeni bir ivmeölçer yapısı tasarlanmıştır. Kiriş yapıları kullanılarak geliştirilen bu sensör, yaklaşımsal analizle incelenmiş ve geometrik etkiler detaylı bir şekilde ele alınmıştır. Elde edilen bulgular, farklı eksenlerde çalışabilen daha ileri ivmeölçer tasarımlarına yol gösterici olabilir.

Kaynakça

  • [1] Bao, M. H., Yang, H. 2007. Squeeze film air damping in MEMS. Sensors and Actuators A: Physical, 136(1), 3 27.
  • [2] Bernstein, J., Cho, S., King, A., Kourepenis, A., Maciel, P., & Weinberg, M. 1999. A micromachined comb-drive tuning fork rate gyroscope. In Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems. [3]- Lang, J. H. 2003. Integrated Ferroelectrics: Past, Present, and Future. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 50(9), 1064-1074.
  • [4] Lee, B., & Choi, D. 2001. A temperature-compensated silicon accelerometer based on a piezoresistive sensing scheme. Sensors and Actuators A: Physical, 90(1-2), 38-42.
  • [5] Liu, C. 2007. Foundations of MEMS. Pearson Prentice Hall.
  • [6] Muralt, P. 2000. Ferroelectric thin films for micro-sensors and actuators: a review. Journal of Micromechanics and Microengineering, 10(2), 136.
  • [7] Petersen, K. E. 1982. Silicon as a mechanical material. Proceedings of the IEEE, 70(5), 420-457.
  • [8] Yu, H., Chen, B., & Xie, L. 2016. A review of MEMS capacitive accelerometers. Sensors, 16(8), 1161.
  • [9] Yazdi, N., Ayazi, F., & Najafi, K. 2004. Micromachined inertial sensors. Proceedings of the IEEE, 92(1), 76-97.
  • [10] Zhang, G., & Li, H. 2019. Advances in MEMS electrostatic accelerometers. Micromachines, 10(8), 522.
  • [11] Lee, G.J., Hwang, W.J., Park, J.J. and Lee, M.K., 2019. Study of sensitive parameters on the sensor performance of a compression-type piezoelectric accelerometer based on the meta-model. Energies, 12(7), p.1381.
  • [12] Lee, M.K., Han, S.H., Park, J.J. and Lee, G.J., 2020. A theoretical and empirical investigation of design characteristics in a Pb (Zr, Ti) O3-based piezoelectric accelerometer. Sensors, 20(12), p.3545.
  • [13] Lee, M.K., Han, S.H., Park, K.H., Park, J.J., Kim, W.W., Hwang, W.J. and Lee, G.J., 2019. Design optimization of bulk piezoelectric acceleration sensor for enhanced performance. Sensors, 19(15), p.3360.
  • [14] Jency, J.G., Sekar, M. and Sankar, A.R., 2021. Damping analysis of a quad beam MEMS piezoresistive accelerometer. International Journal of Modelling and Simulation, 41(4), pp.256-264.

Ayrıntılar

Birincil Dil Türkçe
Konular Dinamikler, Titreşim ve Titreşim Kontrolü, Mikroelektromekanik Sistemler (MEMS)
Bölüm Makaleler
Yazarlar

Levent BEKER

Erken Görünüm Tarihi 31 Aralık 2023
Yayımlanma Tarihi 31 Aralık 2023
Gönderilme Tarihi 12 Kasım 2023
Kabul Tarihi 31 Aralık 2023
Yayımlandığı Sayı Yıl 2023 Cilt: 39 Sayı: 3

Kaynak Göster

APA BEKER, L. (2023). Uç ağırlıklı piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer olarak tasarımı ve sayısal analizi. Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fen Bilimleri Dergisi, 39(3), 350-356.
AMA BEKER L. Uç ağırlıklı piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer olarak tasarımı ve sayısal analizi. Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fen Bilimleri Dergisi. Aralık 2023;39(3):350-356.
Chicago BEKER, Levent. “Uç ağırlıklı Piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer Olarak tasarımı Ve sayısal Analizi”. Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fen Bilimleri Dergisi 39, sy. 3 (Aralık 2023): 350-56.
EndNote BEKER L (01 Aralık 2023) Uç ağırlıklı piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer olarak tasarımı ve sayısal analizi. Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fen Bilimleri Dergisi 39 3 350–356.
IEEE L. BEKER, “Uç ağırlıklı piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer olarak tasarımı ve sayısal analizi”, Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fen Bilimleri Dergisi, c. 39, sy. 3, ss. 350–356, 2023.
ISNAD BEKER, Levent. “Uç ağırlıklı Piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer Olarak tasarımı Ve sayısal Analizi”. Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fen Bilimleri Dergisi 39/3 (Aralık 2023), 350-356.
JAMA BEKER L. Uç ağırlıklı piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer olarak tasarımı ve sayısal analizi. Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fen Bilimleri Dergisi. 2023;39:350–356.
MLA BEKER, Levent. “Uç ağırlıklı Piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer Olarak tasarımı Ve sayısal Analizi”. Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fen Bilimleri Dergisi, c. 39, sy. 3, 2023, ss. 350-6.
Vancouver BEKER L. Uç ağırlıklı piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer olarak tasarımı ve sayısal analizi. Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fen Bilimleri Dergisi. 2023;39(3):350-6.

✯ Etik kurul izni gerektiren, tüm bilim dallarında yapılan araştırmalar için etik kurul onayı alınmış olmalı, bu onay makalede belirtilmeli ve belgelendirilmelidir.
✯ Etik kurul izni gerektiren araştırmalarda, izinle ilgili bilgilere (kurul adı, tarih ve sayı no) yöntem bölümünde, ayrıca makalenin ilk/son sayfalarından birinde; olgu sunumlarında, bilgilendirilmiş gönüllü olur/onam formunun imzalatıldığına dair bilgiye makalede yer verilmelidir.
✯ Dergi web sayfasında, makalelerde Araştırma ve Yayın Etiğine uyulduğuna dair ifadeye yer verilmelidir.
✯ Dergi web sayfasında, hakem, yazar ve editör için ayrı başlıklar altında etik kurallarla ilgili bilgi verilmelidir.
✯ Dergide ve/veya web sayfasında, ulusal ve uluslararası standartlara atıf yaparak, dergide ve/veya web sayfasında etik ilkeler ayrı başlık altında belirtilmelidir. Örneğin; dergilere gönderilen bilimsel yazılarda, ICMJE (International Committee of Medical Journal Editors) tavsiyeleri ile COPE (Committee on Publication Ethics)’un Editör ve Yazarlar için Uluslararası Standartları dikkate alınmalıdır.
✯ Kullanılan fikir ve sanat eserleri için telif hakları düzenlemelerine riayet edilmesi gerekmektedir.