Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi
Öz
Bu çalışmada, Cu katkılı ZnO (CZO) arayüzeye sahip Au/n-Si yapısının dielektrik özellikleri araştırıldı. CZO ince film kaplama, RF püskürtme sistemi ile n-tipi Si levha üzerine gerçekleştirildi. Elektriksel analiz için Au metal kontağı yapılarak cihaz tamamlandı. Au/CZO/n–Si yapısının dielektrik parametreleri türü dielektrik sabiti (ε'), dielektrik kaybı (ε''), dielektrik kayıp tanjantı (tan δ ) ve ac iletkenliği (σ ac) kapasitans (𝐶) parametreleri ve iletkenlik (𝐺) verileri kullanılarak belirlendi. Bu veriler 10 kHz-1 MHz frekans aralığında 1, 2, 3 ve 4V için elde edilmiştir. Analiz sonucunda dielektrik parametrelerinin gerilim değerine bağlı olduğu görülmüştür.
Anahtar Kelimeler
Kaynakça
- Shahzad, S., Javed, S., Usman, M. (2021). A review on synthesis and optoelectronic applications of nanostructured ZnO. Frontiers in Materials, 8, 613825.
- Çokduygulular, E., Çetinkaya, Ç., Yalçın, Y., Kınacı, B. (2020). A comprehensive study on Cu-doped ZnO (CZO) interlayered MOS structure. Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 31(16), 13646-13656.
- Wang, W., Schiff, E. A. (2007). Polyaniline on crystalline silicon heterojunction solar cells. Applied Physics Letters, 91(13).
- Singh, S. P., Ooi, Z. E., Geok, S. N. L., Goh, G. K., & Dodabalapur, A. (2011). Electrical characteristics of zinc oxide-organic semiconductor lateral heterostructure based hybrid field-effect bipolar transistors. Applied Physics Letters, 98(7).
- Tataroğlu, A., Altındal, Ş. (2008). Analysis of electrical characteristics of Au/SiO2/n-Si (MOS) capacitors using the high–low frequency capacitance and conductance methods. Microelectronic Engineering, 85(11), 2256-2260.
- Kaya, S., Lok, R., Aktag, A., Seidel, J., Yilmaz, E. (2014). Frequency dependent electrical characteristics of BiFeO3 MOS capacitors. Journal of Alloys and Compounds, 583, 476-480.
- Pande, P., Haasmann, D., Han, J., Moghadam, H. A., Tanner, P., Dimitrijev, S. (2020). Electrical characterization of SiC MOS capacitors: A critical review. Microelectronics Reliability, 112, 113790.
- Jin, B., Yan, Q., Dou, Y. (2012). Materials for energy storage and conversion based on metal oxides. Recent Patents on Materials Science, 5(3), 199-212.
Ayrıntılar
Birincil Dil
Türkçe
Konular
Yoğun Maddenin Elektronik ve Manyetik Özellikleri; Süperiletkenlik
Bölüm
Araştırma Makalesi
Yazarlar
Yayımlanma Tarihi
29 Mayıs 2024
Gönderilme Tarihi
6 Nisan 2024
Kabul Tarihi
28 Mayıs 2024
Yayımlandığı Sayı
Yıl 2024 Cilt: 5 Sayı: 1
APA
Efkere, H. İ. (2024). Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi. Gazi Üniversitesi Fen Fakültesi Dergisi, 5(1), 82-89. https://izlik.org/JA47UU62WP
AMA
1.Efkere Hİ. Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi. GÜFFD. 2024;5(1):82-89. https://izlik.org/JA47UU62WP
Chicago
Efkere, Halil İbrahim. 2024. “Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi”. Gazi Üniversitesi Fen Fakültesi Dergisi 5 (1): 82-89. https://izlik.org/JA47UU62WP.
EndNote
Efkere Hİ (01 Mayıs 2024) Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi. Gazi Üniversitesi Fen Fakültesi Dergisi 5 1 82–89.
IEEE
[1]H. İ. Efkere, “Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi”, GÜFFD, c. 5, sy 1, ss. 82–89, May. 2024, [çevrimiçi]. Erişim adresi: https://izlik.org/JA47UU62WP
ISNAD
Efkere, Halil İbrahim. “Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi”. Gazi Üniversitesi Fen Fakültesi Dergisi 5/1 (01 Mayıs 2024): 82-89. https://izlik.org/JA47UU62WP.
JAMA
1.Efkere Hİ. Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi. GÜFFD. 2024;5:82–89.
MLA
Efkere, Halil İbrahim. “Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi”. Gazi Üniversitesi Fen Fakültesi Dergisi, c. 5, sy 1, Mayıs 2024, ss. 82-89, https://izlik.org/JA47UU62WP.
Vancouver
1.Halil İbrahim Efkere. Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi. GÜFFD [Internet]. 01 Mayıs 2024;5(1):82-9. Erişim adresi: https://izlik.org/JA47UU62WP