CF4 GAZ KARIŞIMLARINDA DELİNME GERİLİMİNİN ÖLÇÜLMESİ ve HESAPLANMASI
Öz
CF4, güç anahtarlama ve gaz izoleli kesicilerin endüstriyel
uygulamalarında kullanılmasına rağmen güçlü bir sera gazıdır. Bu dezavantaj, CF4’ün
Argon, Nitrojen gibi çeşitli gazlar ile karışımları yapılarak giderilir.
Gazların dielektrik özelliklerinin irdelenmesi, delinme gerilimlerinin
ölçülmesi ile mümkündür. Oluşturulan deney düzeneği ile 1mm ile 5mm arasında farklı
elektrot açıklıklarında, CF4 gaz karışımlarının delinme gerilimleri
ölçülmüştür. CF4+SF6 ve CF4+Argon gaz
karışımlarının ölçülen delinme gerilimleri literatürdeki sonuçlar ile
karşılaştırılarak, hem ölçüm düzeneği hem de ölçüm metodu doğrulanmıştır.
Ardından, literatürde henüz yayınlanmamış olan CF4+N2 gaz
karışımının delinme gerilimleri farklı elektrot aralıklarında ölçülmüştür.
Anahtar Kelimeler
Kaynakça
- Nikitovic Z., Stojanovic V., Petrovic Z.L., “On the Role of Radicals in Kinetics of Plasma Etchers in Ar/CF4 Mixtures”, Acta Physica Polonica A, 115, 4, 765-767, 2009.
- Christophorou L.G., Olthoff J.K., Rao M.V.V.S., “Electron interactions with SF6”, J. Phys. Chem. Ref. Data, 25, 1341-1388, 1996.
- James D.R., Christophorou L.G., Mathis R.A., “New Unitary and Multicomponent Gaseous Dielectrics”, Gaseous Dielectrics II, Editor: Christophorou L.G., Pergamon Press, New York, A.B.D., 115, 1980.
- Kopp M.K., Valentine K.H., Christophorou L.G., Carter J.G., “New Gas Mixture Improves Performance of 3He Neutron Counters”, Nucl. Instrum. Methods, 201, 2-3, 395-401, 1982.
- Yamashita T., Kurashige H., Morii M.M., Nakamura T.T., Nomura T., Sasao N., Shibata K., Fukushima Y., Ikegami Y., Kobayashi H., Taniguchi T., “Measurements of Electron Drift Velocities and Positive Ion Mobilities for Gases Containing CF4 II”, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 317, 1-2, 213-220, 1992.
- Khechen W, Laghari J.R., “Breakdown Studies of SF6/Argon Gas Mixtures”, IEEE Trans. Electr. Insul., 24, 6, 1141-1146, 1989.
- Maxwell Laboratories Inc., Bulletin # MLB-2138A1, 1982.
- Erden, M. A., “Toz Metalürjisi ile Üretilen Çeliklerde Nikel İlavesinin Mikroyapı ve Mekanik Özellikler Üzerine Etkisinin Araştırılması”, Gazi Üniversitesi Fen Bilimleri Dergisi Part C: Tasarım ve Teknoloji, 4, 4, 241-245, 2016.
Ayrıntılar
Birincil Dil
Türkçe
Konular
-
Bölüm
Araştırma Makalesi
Yayımlanma Tarihi
15 Eylül 2017
Gönderilme Tarihi
7 Şubat 2017
Kabul Tarihi
-
Yayımlandığı Sayı
Yıl 2017 Cilt: 5 Sayı: 3
