Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi

Hilal Yücel Kurt; Gülcan Kalkan; Metin Özer; Evrim Tanrıverdi; Duygu Yiğit

TR EN

Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi

Öz

GaAs yarıiletken katotlu çift gaz boşalma aralıklı plazma hücresinde sistem karakteristiklerinin oksitlenme nedeniyle kararsızlık sergilediği deneysel olarak elde edilmiştir. Sistem karakteristikleri geniş bir gaz basıncı (p = 28 – 342 Torr), elektrotlar arası mesafe (d1 = 50 µm d2 = 50 – 320 µm) ve D = 9 mm lik yarıiletken katot çapı için deneysel olarak araştırıldı. U = 200-2000 Volt besleme gerilimi altında, Paschen eğrisinden kritik voltaj değerleri belirlendi.

Anahtar Kelimeler

Gaz boşalması, GaAs, plazma, oksitlenme, çift aralık

Ayrıntılar

Birincil Dil

Türkçe

Konular

-

Bölüm

-

Yazarlar

Hilal Yücel Kurt Bu kişi benim

Gülcan Kalkan Bu kişi benim

Metin Özer Bu kişi benim

Evrim Tanrıverdi Bu kişi benim

Duygu Yiğit Bu kişi benim

Yayımlanma Tarihi

1 Aralık 2014

Gönderilme Tarihi

1 Aralık 2014

Kabul Tarihi

-

Yayımlandığı Sayı

Yıl 2014 Cilt: 17 Sayı: 4

IZ

https://izlik.org/JA84KF59UX

Kaynak Göster

RIS / Bibtex

APA

Kurt, H. Y., Kalkan, G., Özer, M., Tanrıverdi, E., & Yiğit, D. (2014). Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi. Politeknik Dergisi, 17(4), 161-165. https://izlik.org/JA84KF59UX

AMA

1.Kurt HY, Kalkan G, Özer M, Tanrıverdi E, Yiğit D. Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi. Politeknik Dergisi. 2014;17(4):161-165. https://izlik.org/JA84KF59UX

Chicago

Kurt, Hilal Yücel, Gülcan Kalkan, Metin Özer, Evrim Tanrıverdi, ve Duygu Yiğit. 2014. “Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi”. Politeknik Dergisi 17 (4): 161-65. https://izlik.org/JA84KF59UX.

EndNote

Kurt HY, Kalkan G, Özer M, Tanrıverdi E, Yiğit D (01 Aralık 2014) Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi. Politeknik Dergisi 17 4 161–165.

IEEE

[1]H. Y. Kurt, G. Kalkan, M. Özer, E. Tanrıverdi, ve D. Yiğit, “Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi”, Politeknik Dergisi, c. 17, sy 4, ss. 161–165, Ara. 2014, [çevrimiçi]. Erişim adresi: https://izlik.org/JA84KF59UX

ISNAD

Kurt, Hilal Yücel - Kalkan, Gülcan - Özer, Metin - Tanrıverdi, Evrim - Yiğit, Duygu. “Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi”. Politeknik Dergisi 17/4 (01 Aralık 2014): 161-165. https://izlik.org/JA84KF59UX.

JAMA

1.Kurt HY, Kalkan G, Özer M, Tanrıverdi E, Yiğit D. Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi. Politeknik Dergisi. 2014;17:161–165.

MLA

Kurt, Hilal Yücel, vd. “Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi”. Politeknik Dergisi, c. 17, sy 4, Aralık 2014, ss. 161-5, https://izlik.org/JA84KF59UX.

Vancouver

1.Hilal Yücel Kurt, Gülcan Kalkan, Metin Özer, Evrim Tanrıverdi, Duygu Yiğit. Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi. Politeknik Dergisi [Internet]. 01 Aralık 2014;17(4):161-5. Erişim adresi: https://izlik.org/JA84KF59UX