Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri

Irmak Karaduman; Nevin Demirel; Dilber Esra Yıldız; Selim Acar

TR EN

Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri

Öz

Bu çalışmada Al/Al2O3/p-Si yapısının gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Al2O3 metal oksit yapısı atomik tabaka biriktirme (ALD) metoduyla üretilmiştir. Üretilen yapının farklı sıcaklıklar (300-450K) ve farklı CO gaz konsantrasyonlarında (50-2000 ppm) gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Artan sıcaklık ve gaz konsantrasyonuyla duyarlılıklarda artış gözlenmiştir. Elde edilen grafikler göstermektedir ki gaz molekülleri ile numune yüzeyi arasında yük alışverişine dayalı bir etkileşme vardır. Ayrıca tepki ve geri dönüş süreleri sırasıyla 11 ve 16 s olarak hesaplandı.

Anahtar Kelimeler

Gaz Sensör, Metal Oksit Yarıiletken, CO

Ayrıntılar

Birincil Dil

Türkçe

Konular

-

Bölüm

-

Yazarlar

Irmak Karaduman Bu kişi benim

Nevin Demirel Bu kişi benim

Dilber Esra Yıldız Bu kişi benim

Selim Acar Bu kişi benim

Yayımlanma Tarihi

1 Haziran 2015

Gönderilme Tarihi

1 Haziran 2015

Kabul Tarihi

-

Yayımlandığı Sayı

Yıl 2015 Cilt: 18 Sayı: 2

IZ

https://izlik.org/JA29ZN64LN

Kaynak Göster

RIS / Bibtex

APA

Karaduman, I., Demirel, N., Yıldız, D. E., & Acar, S. (2015). Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri. Politeknik Dergisi, 18(2), 79-84. https://izlik.org/JA29ZN64LN

AMA

1.Karaduman I, Demirel N, Yıldız DE, Acar S. Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri. Politeknik Dergisi. 2015;18(2):79-84. https://izlik.org/JA29ZN64LN

Chicago

Karaduman, Irmak, Nevin Demirel, Dilber Esra Yıldız, ve Selim Acar. 2015. “Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri”. Politeknik Dergisi 18 (2): 79-84. https://izlik.org/JA29ZN64LN.

EndNote

Karaduman I, Demirel N, Yıldız DE, Acar S (01 Haziran 2015) Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri. Politeknik Dergisi 18 2 79–84.

IEEE

[1]I. Karaduman, N. Demirel, D. E. Yıldız, ve S. Acar, “Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri”, Politeknik Dergisi, c. 18, sy 2, ss. 79–84, Haz. 2015, [çevrimiçi]. Erişim adresi: https://izlik.org/JA29ZN64LN

ISNAD

Karaduman, Irmak - Demirel, Nevin - Yıldız, Dilber Esra - Acar, Selim. “Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri”. Politeknik Dergisi 18/2 (01 Haziran 2015): 79-84. https://izlik.org/JA29ZN64LN.

JAMA

1.Karaduman I, Demirel N, Yıldız DE, Acar S. Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri. Politeknik Dergisi. 2015;18:79–84.

MLA

Karaduman, Irmak, vd. “Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri”. Politeknik Dergisi, c. 18, sy 2, Haziran 2015, ss. 79-84, https://izlik.org/JA29ZN64LN.

Vancouver

1.Irmak Karaduman, Nevin Demirel, Dilber Esra Yıldız, Selim Acar. Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri. Politeknik Dergisi [Internet]. 01 Haziran 2015;18(2):79-84. Erişim adresi: https://izlik.org/JA29ZN64LN