Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri

Irmak Karaduman; Nevin Demirel; Dilber Esra Yıldız; Selim Acar

Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri

Yıl 2015, Cilt: 18 Sayı: 2, 79 - 84, 01.06.2015

Irmak Karaduman Nevin Demirel Dilber Esra Yıldız Selim Acar

https://izlik.org/JA29ZN64LN

Öz

Bu çalışmada Al/Al2O3/p-Si yapısının gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Al2O3 metal oksit yapısı atomik tabaka biriktirme (ALD) metoduyla üretilmiştir. Üretilen yapının farklı sıcaklıklar (300-450K) ve farklı CO gaz konsantrasyonlarında (50-2000 ppm) gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Artan sıcaklık ve gaz konsantrasyonuyla duyarlılıklarda artış gözlenmiştir. Elde edilen grafikler göstermektedir ki gaz molekülleri ile numune yüzeyi arasında yük alışverişine dayalı bir etkileşme vardır. Ayrıca tepki ve geri dönüş süreleri sırasıyla 11 ve 16 s olarak hesaplandı.

Anahtar Kelimeler

Gaz Sensör , Metal Oksit Yarıiletken , CO

The Co Gas Sensing Properties of Al/Al2o3/P-Si Structure

Yıl 2015, Cilt: 18 Sayı: 2, 79 - 84, 01.06.2015

Irmak Karaduman Nevin Demirel Dilber Esra Yıldız Selim Acar

https://izlik.org/JA29ZN64LN

Öz

In this study, deposition (ALD) method. The temperature dependent electrical characterization of produced sample was performed in gas atmosphere (carbon monoxide and carbon dioxide) at different temperatures (300-450 K) and different gas concentrations (502000 ppm ). The results show that the reaction between the gas molecules and the surface of the sample is based on the charge transfer mechanism. The response and recovery times are calculated 11 and 16 s, respectively

Anahtar Kelimeler

Gas Sensor , Metal Oxide Semiconductor , CO

Toplam 0 adet kaynakça vardır.

Ayrıntılar

Diğer ID	JA62SJ63AG
Yazarlar	Irmak Karaduman Bu kişi benim Nevin Demirel Bu kişi benim Dilber Esra Yıldız Bu kişi benim Selim Acar Bu kişi benim
Gönderilme Tarihi	1 Haziran 2015
Yayımlanma Tarihi	1 Haziran 2015
IZ	https://izlik.org/JA29ZN64LN
Yayımlandığı Sayı	Yıl 2015 Cilt: 18 Sayı: 2

Kaynak Göster

APA	Karaduman, I., Demirel, N., Yıldız, D. E., & Acar, S. (2015). Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri. Politeknik Dergisi, 18(2), 79-84. https://izlik.org/JA29ZN64LN
AMA	1.Karaduman I, Demirel N, Yıldız DE, Acar S. Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri. Politeknik Dergisi. 2015;18(2):79-84. https://izlik.org/JA29ZN64LN
Chicago	Karaduman, Irmak, Nevin Demirel, Dilber Esra Yıldız, ve Selim Acar. 2015. “Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri”. Politeknik Dergisi 18 (2): 79-84. https://izlik.org/JA29ZN64LN.
EndNote	Karaduman I, Demirel N, Yıldız DE, Acar S (01 Haziran 2015) Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri. Politeknik Dergisi 18 2 79–84.
IEEE	[1]I. Karaduman, N. Demirel, D. E. Yıldız, ve S. Acar, “Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri”, Politeknik Dergisi, c. 18, sy 2, ss. 79–84, Haz. 2015, [çevrimiçi]. Erişim adresi: https://izlik.org/JA29ZN64LN
ISNAD	Karaduman, Irmak - Demirel, Nevin - Yıldız, Dilber Esra - Acar, Selim. “Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri”. Politeknik Dergisi 18/2 (01 Haziran 2015): 79-84. https://izlik.org/JA29ZN64LN.
JAMA	1.Karaduman I, Demirel N, Yıldız DE, Acar S. Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri. Politeknik Dergisi. 2015;18:79–84.
MLA	Karaduman, Irmak, vd. “Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri”. Politeknik Dergisi, c. 18, sy 2, Haziran 2015, ss. 79-84, https://izlik.org/JA29ZN64LN.
Vancouver	1.Irmak Karaduman, Nevin Demirel, Dilber Esra Yıldız, Selim Acar. Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri. Politeknik Dergisi [Internet]. 01 Haziran 2015;18(2):79-84. Erişim adresi: https://izlik.org/JA29ZN64LN