Öz
Bu çalışmada Al/Al2O3/p-Si yapısının gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Al2O3 metal oksit yapısı atomik tabaka biriktirme (ALD) metoduyla üretilmiştir. Üretilen yapının farklı sıcaklıklar (300-450K) ve farklı CO gaz konsantrasyonlarında (50-2000 ppm) gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Artan sıcaklık ve gaz konsantrasyonuyla duyarlılıklarda artış gözlenmiştir. Elde edilen grafikler göstermektedir ki gaz molekülleri ile numune yüzeyi arasında yük alışverişine dayalı bir etkileşme vardır. Ayrıca tepki ve geri dönüş süreleri sırasıyla 11 ve 16 s olarak hesaplandı.
Anahtar Kelimeler
Öz
In this study, deposition (ALD) method. The temperature dependent electrical characterization of produced sample was performed in gas atmosphere (carbon monoxide and carbon dioxide) at different temperatures (300-450 K) and different gas concentrations (502000 ppm ). The results show that the reaction between the gas molecules and the surface of the sample is based on the charge transfer mechanism. The response and recovery times are calculated 11 and 16 s, respectively
Anahtar Kelimeler
Ayrıntılar
| Diğer ID | JA62SJ63AG |
|---|---|
| Bölüm | Araştırma Makalesi |
| Yazarlar | |
| Yayımlanma Tarihi | 1 Haziran 2015 |
| Gönderilme Tarihi | 1 Haziran 2015 |
| Yayımlandığı Sayı | Yıl 2015 Cilt: 18 Sayı: 2 |
Kaynak Göster
Bu eser Creative Commons Atıf-AynıLisanslaPaylaş 4.0 Uluslararası ile lisanslanmıştır.