Deposition and Characterization of Zinc Oxide Films

Öz

Zinc oxide (ZnO) is suitable for optoelectronic applications due to its electrical and optical properties. The present work deals with the preparation and characterization of ZnO films deposited by the ultrasonic spray pyrolysis method. The starting solution was zinc acetate. Effects of substrate temperature on films properties have been investigated. Optical properties of the films have been characterized by investigating transmittance, absorbance and photoluminescence (PL) spectra. Optical transmission spectrum shows that ZnO films have high transmission (about 80%) in visible region for substrate temperatures at 350oC. Surface morphology of the films has also been analyzed by atomic force microscope (AFM). Four probes conductivity measurements have been used for electrical characterization. The resistivity of ZnO films increases with increasing substrate temperatures

Anahtar Kelimeler

• ZnO
• AFM
• Photolüminescence
• Spectrum (PL)

Çinko Oksit Filmlerinin Üretim ve Karakterizasyonu

Öz

Çinko oksit (ZnO) elektriksel ve optik özellikleri sebebiyle optoelektronik uygulamalar için uygun bir malzemedir. Bu çalışma, ultrasonik kimyasal püskürtme tekniği ile çöktürülen ZnO filmlerinin üretim ve karakterizasyonu ile ilgilidir. Filmlerin bazı özellikleri üzerine taban sıcaklığının etkisi araştırılmıştır. Filmler geçirgenlik, soğurma ve fotolüminesans spektrumları ile karakterize edilmiştir. Optik geçirgenlik spektrumu, 350oC taban sıcaklığı için görünür bölgede yüksek geçirgenlik değerlerine (yaklaşık %80 ) sahip olduğunu göstermektedir. Filmlerin yüzey morfolojileri atomik kuvvet mikroskobuyla (AKM) analiz edilmiştir. Elektriksel karakterizasyon için dört uç iletkenlik ölçümleri kullanılmıştır. ZnO filmlerinin özdirenç değerleri artan taban sıcaklığıyla birlikte artış göstermiştir.

Anahtar Kelimeler

• ZnO
• AKM
• Fotolüminesans
• Spektrum(PL)

Kaynakça

1. Mohanty, B. C., Yeon, D. H., Das, S. N., Kwak, J. H., Yoon K. H. and Cho, Y.S., 2013. Unusual near-band-edge photoluminescence at room temperature in heavily- doped ZnO:Al thin films prepared by pulsed laser deposition”, Materials Chemistry and Physics 140, 610-615.
2. Ghafouri, V., Shariati M. and Ebrahimzad A., 2012. Photoluminescence investigation of crystalline undoped ZnO nanostructures constructed by RF sputtering. Scientia Iranica F 19, 934–942.
3. Wang M. and Zhang L. 2009. The influence of orientation on the photoluminescence behavior of ZnO thin films obtained by chemical solution deposition. Materials Letters 63, 301–303.
4. Vayssieres L. 2003. Adv Mater;15:464.
5. Qiu, D.J., Wu, H.Z., Feng, A.M., Lao, Y.F., Chen N.B. and Xu T.N. 2004. Annealing effects on the microstructure and photoluminescence properties of Ni-doped ZnO films. Applied Surface Science 222 263–268.
6. Vishwas, M., Narasimha Rao, K., Phani, A.R., Arjuna Gowda K.V. and Chakradhar R.P.S., 2012. Optical, electrical and structural characterization of ZnO:Al thin films prepared by a low cost sol–gel method. Solid State Communications 152 324–327.
7. Zahedi, F., Dariani, R.S., 2011. Effect of precursor concentration on structural and optical properties of ZnO microrods by spray pyrolysis. Thin Solid Films.
8. Rozati, S.M., Zarenejad F.and Memarian N. 2011. Study on physical properties of indium-doped zinc oxide deposited by spray pyrolysis technique. Thin Solid Films 520 1259–1262.

9. Olvera, M. de la L., Maldonadoa, A., Asomoza, R., Solorza, O., Acosta D.R., 2001. Characteristics of ZnO:F thin films obtained by chemical spray. Effect of the molarity and the doping concentration. Thin Solid Films 394, 242–249.