BibTex RIS Kaynak Göster

ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri

Yıl 2012, Cilt: 16 Sayı: 1, 56 - 60, 14.07.2014

Olcay Gençyılmaz Ferhunde Atay İdris Akyüz

Öz

Bu çalışmada, ZnO yarıiletken filmleri ultrasonik kimyasal püskürtme tekniği (UKP) kullanılarak cam tabanlar üzerine depolanmıştır. Üretilen filmlerin bazı fiziksel özelliklerini iyileştirmek için farklı sıcaklıklarda ısıl tavlama işlemi yapılmış ve filmlerin optik, elektrik ve yüzey özellikleri üzerine tavlama sıcaklığının etkisi araştırılmıştır. ZnO filmlerinin elemental analizleri yapılarak filmlerin stokiyometrisi belirlenmiştir. Geçirgenlik ve soğurma spektrumları UV-VIS spektrofotometre kullanılarak alınmıştır ve yasak enerji aralıkları optik metot ile belirlenmiştir. Ayrıca filmlerin kalınlıkları, kırılma indisi (n) ve sönüm katsayısı (k) değerleri spektroskopik elipsometre (SE) cihazı kullanılarak belirlenmiştir. Filmlerin yüzey görüntüleri ve yüzey pürüzlülük değerleri atomik kuvvet mikroskobu (AKM) kullanılarak incelenmiş ve elektriksel özdirençleri dört uç metodu ile belirlenmiştir. Elde edilen sonuçlara göre, ZnO filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin ısıl tavlama işlemi ile iyileştiği belirlenmiş ve ZnO filmlerinin çeşitli teknolojik alanlarda kullanım potansiyeli araştırılmıştır.

Anahtar Kelimeler

Ultrasonik kimyasal püskürtme ZnO Spektroskopik elipsometre Atomik kuvvet mikroskobu

Kaynakça

  • Ergin, B., Ketenci, E., Atay, F. 2008. Characterization of ZnO films obtained by ultrasonic spray pyrolysis technique. International journal of hydrogen energy, 34, 5249–5254.
  • Golshahi, S., Rozati, S. M., Martins, R., Fortunato, E. 2009. P-type thin film deposited by spray pyrolysis technique. The effect of solution concentration. Thin Solid Films, 518,1149-1152.
  • Kaushal, A., Pathak, D., Bedi, R. K., Kaur, D. 2009. Structural, electrical and optical properties of transparent Zn1-xMgxO nanocomposite thin films. Thin Solid Films, 518, 1394-1398.
  • Kavasoğlu, N., Kavasoğlu, A. S. 2008. Metalsemiconductor transition in undoped ZnO films deposited by spray pyrolysis. Physica B, 403, 2807-2810.
  • Kruns, M., Mellikov E. 1995. Zinc oxide thin films by the spray pyrolysis method. Thin Solid Films, 270, 3336.
  • Lee, J.H., Park, B. K. 2004. Characteristics of Al-doped ZnO thin films obtained by ultrasonic spray pyrolysis: effects of Al doping and an annealing treatment. Materials Science and Engineering, 106, 242–245.
  • Ma, T. Y., Shim D. K. 2002. Effects of rapid thermal annealing on the morphology and electrical properties of ZnO/In films. Thin Solid Films, 410, 8–13.
  • Pankove, J. I. 1975. Optical processes in semiconductors, Dover Publications, New York, A.B.D.
  • Zhang, X., Fan, H., Sun, J., Zhao, Y. 2007. Structural and electrical properties of p-type ZnO films prepared by Ultrasonic Spray pyrolysis. Thin Solid Films, 515, 8789-8792.
  • Zhao, J. L., Li, X.M., Bian, J. M., Yu, W. D., Zhang, C. Y. 2005. Growth of nitrogen-doped p-type ZnO films by spray pyrolysis and their electrical and optical properties. Journal of crystal Growth, 280, 495-501.
Toplam 10 adet kaynakça vardır.

Ayrıntılar

Birincil Dil İngilizce
Bölüm MÜHENDİSLİK ve MİMARLIK BİLİMLERİ
Yazarlar

Olcay Gençyılmaz Bu kişi benim

Ferhunde Atay Bu kişi benim

İdris Akyüz Bu kişi benim

Yayımlanma Tarihi 14 Temmuz 2014
Yayımlandığı Sayı Yıl 2012 Cilt: 16 Sayı: 1

Kaynak Göster

APA Gençyılmaz, O., Atay, F., & Akyüz, İ. (2014). ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri. Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi, 16(1), 56-60. https://doi.org/10.19113/sdufbed.76992
AMA Gençyılmaz O, Atay F, Akyüz İ. ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri. Süleyman Demirel Üniv. Fen Bilim. Enst. Derg. Mart 2014;16(1):56-60. doi:10.19113/sdufbed.76992
Chicago Gençyılmaz, Olcay, Ferhunde Atay, ve İdris Akyüz. “ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik Ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri”. Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi 16, sy. 1 (Mart 2014): 56-60. https://doi.org/10.19113/sdufbed.76992.
EndNote Gençyılmaz O, Atay F, Akyüz İ (01 Mart 2014) ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri. Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi 16 1 56–60.
IEEE O. Gençyılmaz, F. Atay, ve İ. Akyüz, “ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri”, Süleyman Demirel Üniv. Fen Bilim. Enst. Derg., c. 16, sy. 1, ss. 56–60, 2014, doi: 10.19113/sdufbed.76992.
ISNAD Gençyılmaz, Olcay vd. “ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik Ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri”. Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi 16/1 (Mart 2014), 56-60. https://doi.org/10.19113/sdufbed.76992.
JAMA Gençyılmaz O, Atay F, Akyüz İ. ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri. Süleyman Demirel Üniv. Fen Bilim. Enst. Derg. 2014;16:56–60.
MLA Gençyılmaz, Olcay vd. “ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik Ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri”. Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi, c. 16, sy. 1, 2014, ss. 56-60, doi:10.19113/sdufbed.76992.
Vancouver Gençyılmaz O, Atay F, Akyüz İ. ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri. Süleyman Demirel Üniv. Fen Bilim. Enst. Derg. 2014;16(1):56-60.

e-ISSN :1308-6529
Linking ISSN (ISSN-L): 1300-7688

Dergide yayımlanan tüm makalelere ücretiz olarak erişilebilinir ve Creative Commons CC BY-NC Atıf-GayriTicari lisansı ile açık erişime sunulur. Tüm yazarlar ve diğer dergi kullanıcıları bu durumu kabul etmiş sayılırlar. CC BY-NC lisansı hakkında detaylı bilgiye erişmek için tıklayınız.