Doğrudan Buhar Biriktirme Tekniği (DVD)

Öz

Yüzey kaplama metodu olan Doğrudan Buhar Biriktirme (DVD) tekniği ile; yüksek hızlarda çalışan makine elemanlarıyla, sürtünmeye, ısıya ve aşınmaya dayanıklı, alaşım ve bileşiklerin düzlemsel ya da eğrisel yüzeylerine kaplama yapılabilmektedir. Düşük vakumda elektron ışını ile buharlaştırma yaparak buhar spreyiyle birlikte taşıyıcı gaz akımının birleşimiyle depositlenen metaller, seramikler ve yarı iletken malzemelerin DVD ile kaplanması gerçekleştirilebilmektedir. Buharın elde edilmesi ve kaplamanın gerçekleşmesindeki farklılıklardan dolayı DVD sistemi, Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD) yönteminden farklı bir yapıya sahiptir. Düşük vakumda taşıyıcı gaz akımı altında çalışan DVD ile iş parçalarına buhar biriktirme esnasında akım odaklanarak verimli, bir o kadar da hızlı malzeme birikimi sağlayarak işlevsel nitelik kazandırılabilmektedir. DVD yönteminin geliştirilmesiyle metallerin kaplanmasının yanında fiber özellikli metal matriks kompozitlerin ve sürekli fiberlerin endüstriyel kaplama uygulamalarına da katkı sağlanmaktadır. Bu çalışmada, PVD yöntemine alternatif olarak geliştirilmiş DVD tanıtımı, DVD Tekniği ile ilgili çalışmalar, sistemde kullanılan ekipmanlar, kullanımı ve DVD tekniğinin belirleyici özelliklerine yer verilmiştir.

Anahtar Kelimeler

• Kaplamalar
• ince film kaplamalar
• e-ışın
• buhar biriktirme

Directed Vapor Deposition Technique (DVD)

Öz

With directed vapor deposition (DVD) technique which is a surface coating method coating can be made to the planar or curved surfaces of compound which are resistant to friction, heat, and wear with high speed machine elements. By vaporizing with low vacuum electron beam (E-Beam), with steam spray metals, ceramics and semi conductor products deposited by combination of gas stream can be coated by DVD. Because of the differences between producing vapor and realization of coating, DVD system has different structure from Physical Vapor Deposition (PVD) method. With DVD which works under a stream of carrier gas in low vacuum, workpieces can be provided both productive and rapid functional attributes by focusing current during vapor deposition. With the development of the method of DVD, it contributes to coating both the metals and fiber-featured metal matrix composites and constant fibers. In this study, beside the PVD method, DVD presentation, studies about the DVD, equipments used in the system, usage and features of DVD method are included.

Anahtar Kelimeler

• Coatings
• thin film coatings
• e-beam
• vapor deposition