Derleme
BibTex RIS Kaynak Göster

Transmısyon Ha Ttı Modeli İle Omik Kontak Incelenmesi

Yıl 1999, Cilt: 12 Sayı: 2, 92 - 105, 31.12.1999

Hasan Hüseyin Erkaya

Öz

fiıı yazıda Miıik kımlaklann 0:ellikleriniıı araflınlmasıntla kııll. amlabilecek Iraıısmi. yon

lr., 111 ııım/r/i aı;ıklaıımıyır. Mwhliıı eksik yönleri ele alinarak gerekli diisellmeler sıılııılmııs,

yccr/ıi^i lurlı. ıılıııı-, lır. Ruyıık huyııllıı yanifelh'n Jiisenkr için, Iransmisyuıı haltı yönıenıi

kıılluıııluhilır: cıııcak. kiıçiık hoyııllıı diızcnlmk. kontak direnci diğer etkenler larafmdaıı

.^ılf;r!v, ii-/)i/üvi'};iiK/L-ıı. ilahcı clikktitlı ulmak gerekir.


Anahtar Kelimeler

Omik Kuııiaklcır Transnüsyon Hatlı Modeli Yanilelken Dii:en ()/{. ///// lü! 7.

Kaynakça

  • î""T""and D- widman". "Messung des Ubergangswiderstandes 2wischen Metal] "L Djffusionsschich! in Sı-Planarelementen, " Sotid-Sıale Elachvıı/cs, vol. 12. Do. 879- 886. 1969. -., -.. -.....-"-.. ". "..",. ",.,,,,,,,.<
  • R,M.ur.man" and D-widr"ann, "Current Crowding on Meta! Contacts to Planar Devices." IKEK Traııs. Eleclron Devices, vol. ED-16, pp. 1022-1024, Dec. 1969.
  • H;.Be.rger'-rModels for co"tacts to Pianar Devices, " Solid-Slale Eleclronics. yol. 15. pp. 145-158, 1972. ' ^ ""' . "-.. -.
  • G. ^K. Reeves, "Specific Contact Resistance Using a circular Transmission Line Model." 1-Slalv Elcclroııics, vol. 23, pp. 487-490, 1980" ^" -"'~ "'"""'
  • G.^ K. Reeves^ and ^H. B.Harrison, "Obtaining the Spec.ific Contact Resistance from Line Model Measurements, " 1EEE Electroıı Device Letl.^ vol'EDL^" Pp. lll-lI3. May 1983. -^--. ---....., ^..... ^,,, vu.. cu^,
  • M: He'blu'"', M; '. Nat['a" .l"d C. A. Cha"S, "Characteristics ofAuGeNİ Ohmic Contacts to ı?. As, " Soliıi-Slalf Eleclronics, vol. 25, pp. 185-195, March 1982.
  • , cohen- "COMaü Resistance and Metlıods for Its Determination, " Thiı, Solid Films. vol. 104, pp . 361-379, 1983. ^-...... -.., ...... ^,,.. . , "".,,
  • D. K ^ Schroderand D. L. Meier, "Solar Celi Contact Resistance - A Review, " 1EEE rcıııs. L/ad/vi! Dcvices, voI. ED-3 l, pp. 637-647, May 1984. ^ . --. -. -..,
  • D.. L_Meier and D K-schroder. "C°"tact Resistance: Its Measurement and Relative ^a^, ^^4LOSS' "a SOIarc e"'"I EEET ra"s-E l^^^^t [10] J,',M^P"r'b]ey. ;Duai-LevelJransn.. ission Line Model for Currenl FIow in Metal- ^tp^ Comacts, " /£££ 7/u/u. ffecftT Dcvices, vol. ED-33,^po'. 1795'-İ November 1986. ' -.---. fi--"---. """,
  • 105[II] J. K. Reeves and H. B. Harrison, "An Anal>-tical Model for Alloyed Ohmic Contacıs Using a Trililyer Transmission Line Model, " IEEE Trans. Electroıı Devices, vol. ED-42. pp. 1536-1547. August 1995.
  • [12] D. Sawdai, D. Pavlidis, and D. Cui, "Enhanced Transmission Line Model Stnıctures for Accurate Resistance Evaluation of Small-size Contacts and for More Reiiable Fabrication, " JEEE Traııs. Electro/t Devices, vol. ED-46, pp. 1302-131], July 1999.
  • [13] D. K. Schroder, Semicoııdvctor Materiat aııd Device Characlerizalion, New York: Wilev- Interscience, 1990, pp. 99-}46

Ohmıc Conta Ct Characterıza Tıon Wıth Transmıssıon Lıne Model

Yıl 1999, Cilt: 12 Sayı: 2, 92 - 105, 31.12.1999

Hasan Hüseyin Erkaya

Öz

The iraıısmissioı: line nıodelfor thc ohmic coıılacl characleri:a!ion is desen hed
Siıorlmıniıys çiftin' ınelhod aıv pointed oııl, wıd nmdı/îcations for Ihe measuremenl lechnujiıe
(iıv ıııv. wnlvı. l. 'l'hv linıilalions of Ihe lechnigııe are discııssed. For large geomeıry
mıitivdilılııclcı. '-tievices. llıe Iraıısnıissioıı liııe melhoci may be ıısed in the characterizaüon of the
dhnıic ciHilacls: houvver. çare mıısl be lcıken for small geomelry devices vıhere Ihe contacl
ıv. -ii.'. ttiıiiv is XHKI// cııitt easily o/ıscıııvci hy ths other effecls.

Anahtar Kelimeler

Ohmic Cıuılacls Transmissioıı Line Model Senıicondııclor Device ( {n{rücivri:alj()ff.

Kaynakça

  • î""T""and D- widman". "Messung des Ubergangswiderstandes 2wischen Metal] "L Djffusionsschich! in Sı-Planarelementen, " Sotid-Sıale Elachvıı/cs, vol. 12. Do. 879- 886. 1969. -., -.. -.....-"-.. ". "..",. ",.,,,,,,,.<
  • R,M.ur.man" and D-widr"ann, "Current Crowding on Meta! Contacts to Planar Devices." IKEK Traııs. Eleclron Devices, vol. ED-16, pp. 1022-1024, Dec. 1969.
  • H;.Be.rger'-rModels for co"tacts to Pianar Devices, " Solid-Slale Eleclronics. yol. 15. pp. 145-158, 1972. ' ^ ""' . "-.. -.
  • G. ^K. Reeves, "Specific Contact Resistance Using a circular Transmission Line Model." 1-Slalv Elcclroııics, vol. 23, pp. 487-490, 1980" ^" -"'~ "'"""'
  • G.^ K. Reeves^ and ^H. B.Harrison, "Obtaining the Spec.ific Contact Resistance from Line Model Measurements, " 1EEE Electroıı Device Letl.^ vol'EDL^" Pp. lll-lI3. May 1983. -^--. ---....., ^..... ^,,, vu.. cu^,
  • M: He'blu'"', M; '. Nat['a" .l"d C. A. Cha"S, "Characteristics ofAuGeNİ Ohmic Contacts to ı?. As, " Soliıi-Slalf Eleclronics, vol. 25, pp. 185-195, March 1982.
  • , cohen- "COMaü Resistance and Metlıods for Its Determination, " Thiı, Solid Films. vol. 104, pp . 361-379, 1983. ^-...... -.., ...... ^,,.. . , "".,,
  • D. K ^ Schroderand D. L. Meier, "Solar Celi Contact Resistance - A Review, " 1EEE rcıııs. L/ad/vi! Dcvices, voI. ED-3 l, pp. 637-647, May 1984. ^ . --. -. -..,
  • D.. L_Meier and D K-schroder. "C°"tact Resistance: Its Measurement and Relative ^a^, ^^4LOSS' "a SOIarc e"'"I EEET ra"s-E l^^^^t [10] J,',M^P"r'b]ey. ;Duai-LevelJransn.. ission Line Model for Currenl FIow in Metal- ^tp^ Comacts, " /£££ 7/u/u. ffecftT Dcvices, vol. ED-33,^po'. 1795'-İ November 1986. ' -.---. fi--"---. """,
  • 105[II] J. K. Reeves and H. B. Harrison, "An Anal>-tical Model for Alloyed Ohmic Contacıs Using a Trililyer Transmission Line Model, " IEEE Trans. Electroıı Devices, vol. ED-42. pp. 1536-1547. August 1995.
  • [12] D. Sawdai, D. Pavlidis, and D. Cui, "Enhanced Transmission Line Model Stnıctures for Accurate Resistance Evaluation of Small-size Contacts and for More Reiiable Fabrication, " JEEE Traııs. Electro/t Devices, vol. ED-46, pp. 1302-131], July 1999.
  • [13] D. K. Schroder, Semicoııdvctor Materiat aııd Device Characlerizalion, New York: Wilev- Interscience, 1990, pp. 99-}46
Toplam 12 adet kaynakça vardır.

Ayrıntılar

Konular Elektrik Mühendisliği
Bölüm Derleme
Yazarlar

Hasan Hüseyin Erkaya

Kabul Tarihi 4 Temmuz 1999
Yayımlanma Tarihi 31 Aralık 1999
Yayımlandığı Sayı Yıl 1999 Cilt: 12 Sayı: 2

Kaynak Göster

APA Erkaya, H. H. (1999). Ohmıc Conta Ct Characterıza Tıon Wıth Transmıssıon Lıne Model. Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Mühendislik ve Mimarlık Fakültesi Dergisi, 12(2), 92-105.
AMA Erkaya HH. Ohmıc Conta Ct Characterıza Tıon Wıth Transmıssıon Lıne Model. ESOGÜ Müh Mim Fak Derg. Aralık 1999;12(2):92-105.
Chicago Erkaya, Hasan Hüseyin. “Ohmıc Conta Ct Characterıza Tıon Wıth Transmıssıon Lıne Model”. Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Mühendislik ve Mimarlık Fakültesi Dergisi 12, sy. 2 (Aralık 1999): 92-105.
EndNote Erkaya HH (01 Aralık 1999) Ohmıc Conta Ct Characterıza Tıon Wıth Transmıssıon Lıne Model. Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Mühendislik ve Mimarlık Fakültesi Dergisi 12 2 92–105.
IEEE H. H. Erkaya, “Ohmıc Conta Ct Characterıza Tıon Wıth Transmıssıon Lıne Model”, ESOGÜ Müh Mim Fak Derg, c. 12, sy. 2, ss. 92–105, 1999.
ISNAD Erkaya, Hasan Hüseyin. “Ohmıc Conta Ct Characterıza Tıon Wıth Transmıssıon Lıne Model”. Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Mühendislik ve Mimarlık Fakültesi Dergisi 12/2 (Aralık1999), 92-105.
JAMA Erkaya HH. Ohmıc Conta Ct Characterıza Tıon Wıth Transmıssıon Lıne Model. ESOGÜ Müh Mim Fak Derg. 1999;12:92–105.
MLA Erkaya, Hasan Hüseyin. “Ohmıc Conta Ct Characterıza Tıon Wıth Transmıssıon Lıne Model”. Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Mühendislik ve Mimarlık Fakültesi Dergisi, c. 12, sy. 2, 1999, ss. 92-105.
Vancouver Erkaya HH. Ohmıc Conta Ct Characterıza Tıon Wıth Transmıssıon Lıne Model. ESOGÜ Müh Mim Fak Derg. 1999;12(2):92-105.

20873      13565         15461