Elektron Işınlı Mikro Analiz Cihazı (Eıma)

Yıl 1994, Cilt: 9 Sayı: 2, 0 - , 01.03.2013

Sedat Özbilen

Öz

Elektron Işınlı Mikro Analiz Cihazı çok basit şekilde malzeme yüzeyindeki elementlerin tanınmasında, bunların mikroskobik mertebede tahribatsız olarak miktar ve dağılım hesaplarının yapılmasında kullanılan analitik bir cihaz olarak tarif
edilebilir. Başta metalurjik ve minerolojik numuneler olmak üzere jeolojik, petrolojik, biyolojik, arkeolojik, elektronik ve tıbbi numunelerin kimyasal analizinde kullanılır. Yazının amacı EIMA cihazını tanıtmaktır. Bu nedenle cihazın kendisi, performansı ve uygulamaları ile birlikte, elde edilen verilerin toplanması ve bunların bilgisayar programları ile düzeltilmesi hakkında detaylı bir şekilde bilgi verilecektir.

Anahtar Kelimeler

Mikro analiz, elektron ışını, EPMA, metalografi

ELECTRON PROBE MICRO ANALYSIS INSTRUMENT (EPMA)

Öz

Electron Probe Micro Analysis Instrument can simply be described as an analytical
tool which is capable of identifying microscopically and nondestructively the
amount and distribution of individual elements present within the surface layers of a
sample. Although it is mainly used for the chemical analysis of metallurgical and
mineralogical specimens, it can also be used for the analysis of geological,
petrological, biological, archeological, electrical and medical specimens. The main
purpose of the paper is to introduce the EPMA. For that reason, in addition to the
information about the instrument itself, its performance and applications,
information about yielded data collection and correction by the help of computer
programs will be given in considerable detail. 

Anahtar Kelimeler

Micro analysis, electron beam, EPMA, metallography